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J-GLOBAL ID：201902245332877517   整理番号：19A2342698

サブミクロン厚の自立銅膜の破壊靱性に及ぼす表面酸化物層の影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of surface oxide layer on fracture toughness of submicrometer-thick freestanding copper films

著者 (4件)： Kondo Toshiyuki (Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Miki Daiki (Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan) ,  Hirakata Hiroyuki (Department of Mechanical Engineering and Science, Kyoto University, Kyoto-daigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan) ,  Minoshima Kohji (Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan)
資料名： Engineering Fracture Mechanics  (Engineering Fracture Mechanics)
巻： 220  ページ： Null  発行年： 2019年 
JST資料番号： A0119A  ISSN： 0013-7944  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 厚さ制御された表面酸化物層と酸化物層を持たない~500nm厚の銅膜について破壊靭性実験を行った。表面酸化物層を有する膜の破壊靭性は,~0.8~5.9nmの範囲で,酸化物層の厚さに大きく依存しなかった。しかし,表面酸化物層のない膜の破壊靭性は,表面酸化物層を有する膜のそれよりも大きかった。定量的歪分布測定により,表面酸化物層の不在はノッチの前方の塑性変形を非局在化し,破壊靭性を増加させることを明らかにした。Copyright 2019 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *銅 ,  塑性変形 ,  切欠き ,  *酸化層 ,  *破壊靱性 ,  歪分布 ,  非局在化

著者キーワード (4件)： 薄膜 ,  破壊靱性 ,  銅 ,  表面酸化物層

分類 (2件)： 破壊力学一般  (HC04010A) ,  ゴム・プラスチック材料  (HC04030W)

タイトルに関連する用語 (6件)： サブ ,  厚 ,  自立 ,  銅 ,  破壊靱性 ,  酸化物層