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J-GLOBAL ID：201902247496244318   整理番号：19A2303969

超薄非晶質膜によるシリコン膜の熱電増強【JST・京大機械翻訳】

Thermoelectric Enhancement of Silicon Membranes by Ultrathin Amorphous Films

著者 (12件)： George Anthony (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, Japan) ,  Yanagisawa Ryoto (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, Japan) ,  Anufriev Roman (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, Japan) ,  He Jinghan (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, Japan) ,  Yoshie Naoko (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, Japan) ,  Tsujii Naohito (Center for Functional Sensor & Actuator (CFSN) and International Center for Materials Nanoarchitectonics (WPI-MANA), National Institute for Material Science) ,  Guo Quansheng (International Center for Materials Nanoarchitectonics, National Institute for Material Science) ,  Mori Takao (Center for Functional Sensor & Actuator (CFSN) and International Center for Materials Nanoarchitectonics (WPI-MANA), National Institute for Material Science) ,  Mori Takao (International Center for Materials Nanoarchitectonics, National Institute for Material Science) ,  Volz Sebastian (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, Japan) ,  Nomura Masahiro (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, Japan) ,  Nomura Masahiro (PRESTO, Japan Science and Technology Agency, Japan)
資料名： ACS Applied Materials & Interfaces  (ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 11  号： 12  ページ： 12027-12031  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2329A  ISSN： 1944-8244  CODEN： AAMICK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超薄アルミニウム層の堆積により,シリコン膜の熱電性能指数(ZT)を増加させる簡単で低コストで大面積の方法を提案した。透過型電子顕微鏡は,シリコン基板上へのアルミニウムの短い堆積が,最近の理論的研究によると,フォノン波束を効率的に破壊する,極薄非晶質膜を有する表面を覆うことを示した。その結果,アルミニウム膜で被覆されたシリコン膜では30~40%低い熱伝導率が測定されたが,電気伝導率は影響されなかった。したがって,アルミニウム膜で被覆された膜において40~45%高いZT値を達成した。実用化を実証するために,この方法をシリコン膜ベースの熱電素子の性能を向上させ,42%の高い発電を測定するために適用した。Copyright 2019 American Chemical Society All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 熱電素子 ,  電子顕微鏡観察 ,  波束 ,  アルミニウム ,  電気伝導率 ,  *ケイ素 ,  性能指数 ,  フォノン ,  熱電材料 ,  熱伝導率 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  大面積 ,  熱電性能指数 ,  *シリコン膜 ,  *非晶質膜 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 熱電材料 ,  フォノン工学 ,  シリコン ,  熱伝導率 ,  性能指数

分類 (4件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  太陽電池  (NC03084O) ,  二次電池  (YB04030K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 非晶質膜 ,  シリコン膜 ,  増強