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J-GLOBAL ID：201902247715938019   整理番号：19A2264910

銅定盤を用いたダイヤモンドラップの砥粒挙動に関する研究

著者 (3件)： 鍵祐生 (金沢工大 大学院) ,  諏訪部仁 (金沢工大) ,  石川憲一 (金沢工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2019  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C03  発行年： 2019年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドラップでは砥粒の保持性が高い銅などの定盤を用いることで定盤上に砥粒が埋り込み,鏡面になる加工が行われるといわれている。そこで,本研究では,装置上方からウェーハと定盤間の加工部における砥粒挙動を可視化した。また,加工後の定盤表面と工作物であるウェーハ表面を観察することで砥粒の作用や埋り込み,加工特性に与える影響などについて検討した結果を述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *銅 ,  *定盤 ,  砥粒 ,  鏡面仕上 ,  ウエハ【IC】 ,  可視化 ,  *加工性 ,  *ラップ盤
準シソーラス用語： サファイア基板 ,  *ダイヤモンド砥粒 ,  *挙動解析 ,  鏡面加工法

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (2件)：

• 柴田脩太,諏訪部仁,石川憲一:サファイアウエハのラッピングにおける加工液の特性が加工に及ぼす影響,2014年度精密工学会春期大会講演論文集,(2014) 653.
• 川波多裕司,桐野宙冶,張宇,谷泰弘:金属短繊維含有ラッピング工具の開発,精密工学会誌,83,7 (2017) 672.

タイトルに関連する用語 (7件)： 銅 ,  定盤 ,  ダイヤモンド ,  ラップ ,  砥粒 ,  挙動 ,  研究