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J-GLOBAL ID:201902257143788656   整理番号:19A2397199

磁場・電場同時印加による平面研磨の高能率に関する基礎研究

著者 (7件):
資料名:
巻: 2019  号: 春季(Web)  ページ: 726-727(J-STAGE)  発行年: 2019年09月04日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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磁場印加による磁気混合流体を用いた平面研磨において,高圧電場を印加した場合の加工能率の効果について調べた.加工実験では直流磁場に交流電場を印加した場合の加工量特性と表面性状の特性を明らかにした.(著者抄録)
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