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J-GLOBAL ID：201902260158832226   整理番号：19A0590620

衝突放射モデルに基づく多発光線分析による低圧放電アルゴンプラズマの診断

Diagnostics of low-pressure discharge argon plasma by multi-optical emission line analysis based on the collisional-radiative model

著者 (4件)： YAMASHITA Yuya (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  YAMAZAKI Fuminori (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  NEZU Atsushi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  AKATSUKA Hiroshi (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 58  号： 1  ページ： 016004.1-016004.8  発行年： 2019年01月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,発光分光法(OES)測定による低圧(133Pa)放電アルゴンプラズマの電子温度(1.0eV-3.8eV)と電子密度(1.0×10⁹cm^3~-5.0×10¹²cm³)の診断に焦点を当てた。多重発光線を用いた診断法を解析した。最初に,衝突-放射モデルに基づく支配的な動力学的過程を抽出することによって,励起-動力学モデルを得た。次に,広い範囲の電子温度と密度に対する診断方程式を提案し,幾つかの励起準位の近似的な励起の動力学バランスを記述した。15の発光線(波長範囲:340.7nm-912.3nm)をOES測定のために選択した。理論的相対誤差のRMSは電子温度で5.96%,電子密度で32.6%であった。2.45GHzマイクロ波プラズマの診断を,提案した方法とプローブ法によって実証した。提案した方法による電子密度の結果はプローブ法と良く一致した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ診断 ,  *発光スペクトル ,  *発光分光法 ,  線スペクトル ,  アルゴン ,  *プラズマ ,  モデル ,  電子温度 ,  誤差 ,  電子密度 ,  低圧
準シソーラス用語： 衝突放射モデル ,  相対誤差 ,  低圧放電 ,  *放電プラズマ

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (27件)：

• X. M. Zhu and Y. K. Pu, J. Phys. D: Appl. Phys. 43, 403001 (2010).
• X. M. Zhu and Y. K. Pu, J. Phys. D: Appl. Phys. 40, 2533 (2007).
• S. Siepa, S. Danko, T. V. Tsankov, T. Mussenbrock, and U. Czarnetzki, J. Phys. D: Appl. Phys. 47, 445201 (2014).
• K. Kano, M. Suzuki, and H. Akatsuka, Plasma Sources Sci. Technol. 9, 314 (2000).
• K. Kano, M. Suzuki, and H. Akatsuka, Contrib. Plasma Phys. 41, 91 (2001).

タイトルに関連する用語 (7件)： 衝突放射モデル ,  分析 ,  低圧 ,  放電 ,  アルゴン ,  プラズマ ,  診断