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J-GLOBAL ID：201902260364637119   整理番号：19A0624638

トレンチ側壁上に堆積した水素化非晶質炭素膜の構造と機械的性質に及ぼす前駆体ガスの影響【JST・京大機械翻訳】

Effect of precursor gas on the structure and mechanical properties of hydrogenated amorphous carbon films deposited on a trench sidewall

著者 (4件)： Hirata Yuki (Department of Mechanical Engineering, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1 O-okayama, Meguro-ku, Tokyo, Japan) ,  Kitamura Kanju (Department of Mechanical Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan) ,  Ishikawa Takumi (Department of Mechanical Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan) ,  Choi Junho (Department of Mechanical Engineering, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo, Japan)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 125  号： 6  ページ： 065306-065306-10  発行年： 2019年 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水素化非晶質炭素(a-C:H)膜を,双極型プラズマに基づくイオン注入と堆積(バイポーラPBIIと)技術を用いてトレンチ形状ターゲット(20mmピッチと10mm深さ)上に堆積した。トレンチの上部,側壁,底部表面に堆積したa-C:H膜の厚さ均一性,微細構造,機械的性質を調べた。著者らの以前の研究において,トルエンガスを,バイポーラPBII & D技術を用いてトレンチターゲットを被覆するために使用した。トレンチの側壁上のa-C:H膜の厚さと硬度は小さく,膜構造は上部と底部表面上のそれらよりグラファイト状であった。a-C:H膜の膜特性は炭素原子当たりの入射エネルギーに関係しているので,本研究では,トルエンよりも軽い質量と少ない炭素原子(炭素原子)を持つメタン(CH_4)を前駆体ガスとして用い,炭素原子当たりの入射エネルギーを増強し,垂直方向の慣性を抑制した。a-C:H膜の構造及び機械的性質をRaman分光法,XPS,AFM及びナノインデンテーション試験により評価した。さらに,プラズマシミュレーションを行い,前駆体ガスがイオンとラジカルの挙動と被覆機構に及ぼす影響を決定した。結果として,メタン前駆体ガスの使用は,表面粗さを低下させ,トルエン前駆体ガスの使用と比較して,表面粗さを低下させ,その構造をグラファイト状からダイヤモンド状に変化させることをもたらした。Copyright 2019 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： グラファイト ,  ダイヤモンド ,  *非晶質 ,  被覆 ,  *水素化 ,  *前駆体 ,  形態 ,  イオン注入 ,  プラズマ ,  イオン ,  表面粗さ ,  硬度 ,  アルカン ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： *トレンチ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (2件)： メタン ,  トルエン

タイトルに関連する用語 (8件)： トレンチ ,  側壁 ,  堆積 ,  水素化 ,  非晶質 ,  炭素膜 ,  機械的性質 ,  前駆体