文献

J-GLOBAL ID：201902272921575350   整理番号：19A1375741

原子間力顕微鏡法における薄膜破壊プロセスの解析(II)

著者 (10件)： 石原浩行 (大阪大 大学院) ,  石原浩行 (産業技術総合研) ,  若家冨士男 (大阪大 大学院) ,  村上勝久 (産業技術総合研) ,  長尾昌善 (産業技術総合研) ,  宮戸祐治 (大阪大 大学院) ,  山下隼人 (大阪大 大学院) ,  山下隼人 (JST-さきがけ) ,  阿保智 (大阪大 大学院) ,  阿部真之 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.11p-M116-11  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： タッピングモード原子間力顕微鏡(AFM)を用いて薄膜試料(脂質二重膜など)を観測する際に,薄膜試料が破壊される現象を経験している.この現象は,薄膜試料の厚さやサイズやヤング率,測定に用いるカンチレバーのバネ定数や探針径,さらに,測定時の周波...【本文一部表示】

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *薄膜 ,  *過程 ,  膜 ,  二酸化ケイ素 ,  窒化ケイ素 ,  グラフェン ,  *内部応力 ,  Young率 ,  自立膜
準シソーラス用語： *破壊プロセス

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  材料試験  (HB02020U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子間力顕微鏡法 ,  薄膜 ,  破壊プロセス ,  解析