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J-GLOBAL ID:201902275489981095   整理番号:19A2265052

磁気混合流体を用いた平面内微細溝に対する精密研磨特性

著者 (5件):
資料名:
巻: 2019  号: 秋季(CD-ROM)  ページ: ROMBUNNO.G63  発行年: 2019年08月20日 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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磁気混合流体を用いて,平面内に同心円状の微細なV溝を有する加工物に対する研磨特性を調べた.直流磁場とパルス磁場を用いた場合の平面部の平滑化,V溝の形状変化,V溝底部の平滑化について明らかにした.(著者抄録)
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