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J-GLOBAL ID：201902276428780540   整理番号：19A1052548

ZrN,WN及びZrWN膜の構造及び特性に及ぼす堆積パラメータの影響【JST・京大機械翻訳】

Effects of deposition parameters on the structure and properties of ZrN, WN and ZrWN films

著者 (6件)： Wu C Y (Marine College, Beibu Gulf University, Qinzhou, People’s Republic of China) ,  Chen J H (Department of Industrial Education, National Taiwan Normal University, Taipei, Taiwan) ,  Kuo C G (Department of Industrial Education, National Taiwan Normal University, Taipei, Taiwan) ,  Twu M J (Department of Mechatronic Engineering, National Taiwan Normal University, Taipei, Taiwan) ,  Peng S W (Department of Mechatronic Engineering, National Taiwan Normal University, Taipei, Taiwan) ,  Hsu C Y (Department of Mechanical Engineering, Lunghwa University of Science and Technology, Taoyuan, Taiwan)
資料名： Bulletin of Materials Science  (Bulletin of Materials Science)
巻： 42  号： 1  ページ： 1-11  発行年： 2019年 
JST資料番号： T0142A  ISSN： 0250-4707  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,純ZrおよびW金属ターゲットとArプラズマおよび[数式:原文を参照]反応性ガスを用いた直流(DC)反応性スパッタリングを用いて,炭化タングステン工具およびガラス基板上に蒸着した遷移金属窒化物(ZrN,WNおよびZrWN)薄膜の堆積パラメータの最適設定を検討した。乾式機械加工と膜の機械的性質に使用される切削工具上に堆積された膜に及ぼす蒸着パラメータ(基板プラズマエッチング時間,[数式:原文を参照]流量,蒸着時間,基板温度)の影響を調べるために,灰色Taguchi法を用いた実験を行った。基板表面は酸素プラズマ前処理を用いてエッチングした。被覆膜は均一で,非常にコンパクトで,基板に完全に付着していることが明らかである。灰色関係解析の結果は,乾燥旋削AISI304ステンレス鋼に対して表面粗さがほぼ[数式:原文を参照]であり,側面摩耗がほぼ[数式:原文を参照]であることを示した。灰色関係解析は,基板(炭化タングステン工具)がプラズマエッチング前処理の下にある期間が,表面粗さと側面摩耗の両方に最も顕著な影響を及ぼすことを示した。被覆膜を走査電子顕微鏡(SEM),エネルギー分散分光法(EDS),透過型電子顕微鏡(TEM),X線回折およびナノ圧子を用いて解析した。三元窒化物(ZrWN)被覆試料は二元窒化物(ZrN及びWN)試料より良好な機械的性質を示した。最適ZrWN被覆は最大硬度(H),弾性係数(E)及びH/E値を示した。Copyright 2019 Indian Academy of Sciences Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 旋削 ,  ステンレス鋼 ,  基板 ,  薄膜 ,  薄膜成長 ,  プラズマエッチング ,  窒化物 ,  蒸着 ,  前処理 ,  炭化タングステン ,  摩耗 ,  *被覆 ,  流量 ,  硬度 ,  皮膜 ,  X線回折

著者キーワード (4件)： 遷移金属窒化物膜 ,  灰色田口法 ,  乾式切削 ,  TEM

分類 (3件)： 医用素材  (GA05040H) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 堆積 ,  パラメータ