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J-GLOBAL ID：201902283066322481   整理番号：19A1401832

ブラックシリコンナノ構造のあるシリコン薄膜における熱伝導

Heat conduction in silicon thin film with black silicon nanostructures

著者 (5件)： HUANG X. (Univ. of Tokyo) ,  GLUCHKO S. (Univ. of Tokyo) ,  ANUFRIEV R. (Univ. of Tokyo) ,  NOMURA M. (Univ. of Tokyo) ,  NOMURA M. (JST-PRESTO)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 66th  ページ： ROMBUNNO.10a-W371-7  発行年： 2019年02月25日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

本文一部表示： Siの熱電性能指数(ZT=S2σ/κ)を改善するために,多くのグループがナノ構造化によりσ/κを増加させる種々のアプローチを調べた。ここで,フォノン(主熱キャリア)はナノワイヤやフォノニック結晶(PnCs)のようなSiナノ構造により効果的に...【JST・京大機械翻訳】【本文一部表示】

シソーラス用語： *ケイ素 ,  ナノ構造 ,  性能指数 ,  熱反射率 ,  *熱伝導率 ,  半導体薄膜 ,  RIE【エッチング】
準シソーラス用語： SEM画像 ,  サーモリフレクタンス ,  ナノピラー ,  *ブラックシリコン ,  熱電性能指数 ,  半導体ナノ構造 ,  *有効熱伝導率

分類 (2件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (4件)： ブラックシリコン ,  ナノ構造 ,  シリコン薄膜 ,  熱伝導