特許
J-GLOBAL ID：201903000043029986
パターン検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
池上 徹真
, 須藤 章
, 高下 雅弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-076787
公開番号（公開出願番号）：特開2019-184461
出願日： 2018年04月12日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
要約：
【課題】パターンの元データを使って、画像展開する場合に、データ処理時間を短縮可能な検査装置を提供する。【解決手段】複数の第1の図形の組合せにより構成されたパターンが形成された基板から光学画像を取得する光学画像取得機構150と、描画データを記憶する磁気ディスク装置109と、磁気ディスク装置から描画データを読み出し、図形パターンの構成を、予め設定された最大サイズ内の新たな図形を配置し直すことで、複数の第1の図形の組合せとは異なる複数の第2の図形の組合せにより再構成する再構成処理回路140と、再構成前の複数の第1の図形のデータと再構成された複数の第2の図形のデータとの一方を選択的に画像展開する展開回路111と、画像展開された展開画像を用いて、検査対象の光学画像に対応する参照画像を作成する参照回路112と、光学画像と参照画像とを比較する比較回路108部と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の第1の図形の組合せにより構成される図形パターンが定義された描画データに基づいてパターンが形成された基板から光学画像を取得する光学画像取得機構と、
前記描画データを記憶する記憶装置と、
前記記憶装置から前記描画データを読み出し、前記図形パターンの構成を、予め設定された最大サイズ内の新たな図形を配置し直すことで、前記複数の第1の図形の組合せとは異なる複数の第2の図形の組合せにより再構成する再構成処理部と、
再構成前の前記複数の第1の図形のデータと再構成された前記複数の第2の図形のデータとの一方を選択的に画像展開する展開処理部と、
画像展開された展開画像を用いて、検査対象の光学画像に対応する参照画像を作成する参照画像作成部と、
前記光学画像と前記参照画像とを比較する比較部と、
を備えたことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
2G051AA51
, 2G051AA56
, 2G051AB02
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051DA07
, 2G051EA08
, 2G051ED07
, 2G051ED11
, 2G051FA01
, 2H195BA12
, 2H195BD04
, 2H195BD28
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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