特許
J-GLOBAL ID：201903000534541182

ウェハおよびレチクル検査システムならびに照明瞳配置を選択するための方法

発明者：
チェン グレース エイチ

チェン グレース エイチ について

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ブルナー ルドルフ

ブルナー ルドルフ について

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ガオ リーシェン

ガオ リーシェン について

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ダネン ロバート エム

ダネン ロバート エム について

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チェン ルウ

チェン ルウ について


出願人/特許権者：
ケーエルエー コーポレイション

ケーエルエー コーポレイション について


代理人 (1件)： 特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-060555
公開番号（公開出願番号）：特開2018-128462
特許番号：特許第6598914号
出願日： 2018年03月27日
公開日（公表日）： 2018年08月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光学検査装置を用いて試料の検査を促進する方法であって、 照明瞳領域に散在している複数の各開口位置において照明セレクタの照明開口を一度に1つ開くステップと、 各開口位置において前記照明セレクタの各照明開口を開く一方で、検査装置の入射ビームを前記照明瞳領域に方向付け、前記入射ビームは、開かれた照明開口に応じた入射角で試料に照射されるステップと、 各照明開口位置において各照明開口を開く一方で、暗視野検査モードで前記試料から散乱した1つ以上の光線束を通過させるよう画像化開口を構成するステップと、 各照明開口位置において各照明開口を開く一方で、前記試料から散乱し、前記画像化開口を通過した前記1つ以上の光線束を検知するステップと、 前記試料から散乱した前記1つ以上の光線束に基づいて、各照明開口位置に関する欠陥検知特性を決定するステップと、 前記照明セレクタの各開口位置と前記試料から散乱した前記1つ以上の光線束とについて決定された前記欠陥検知特性の基準セットに基づいて、2つ以上の開口位置に関する欠陥検知特性としての画像を組み合わせて推定画像を取得することで、前記照明セレクタの2つ以上の開口位置の複数の組み合わせについて欠陥検知特性を推定するステップと、 前記試料から散乱した前記1つ以上の光線束から決定または推定された最適欠陥検知特性を有する開口位置の組み合わせに基づいて、前記照明セレクタに対する最適開口配置を決定するステップと、 を含む、方法。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ( 200 6.01) ,  H01L 21/66 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01N 21/956 A ,  H01L 21/66 J
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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