マイクロメカニカル素子、マイクロミラーに基づくレーザシステム、及び、マイクロミラーに基づくレーザシステムの監視方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：アインゼル・フェリックス=ラインハルト , 森田拓 , 前川純一 , 二宮浩康 , 上島類
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-514374
特許番号：特許第6591053号
出願日： 2016年09月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】支持体基板(13)と結合されたマイクロミラー(10)と、第1のセンサダイオード(11)であって、当該第1のセンサダイオード(11)における温度に対応する第1の出力信号を供給するように構成されている第1のセンサダイオード(11)と、第2のセンサダイオード(12)であって、当該第2のセンサダイオード(12)に入射する光の強度に対応する第2の出力信号を供給するように構成されている第2のセンサダイオード(12)と、を備えているマイクロメカニカル素子(1)において、前記第1のセンサダイオード(11)及び前記第2のセンサダイオード(12)は、前記支持体基板(13)内に配置されており、前記マイクロミラー(10)は、反射素子(17)を含み、当該反射素子(17)は、前記マイクロミラー(10)のミラー面(101)に配置されており、前記反射素子(17)は、前記マイクロミラー(10)の前記ミラー面(101)に入射するレーザビーム(20)の直径よりも小さい寸法を有しており、かつ、前記レーザビーム(20)の一部分を前記第2のセンサダイオード(12)に入射させるために前記レーザビーム(20)の当該一部分を予め決められた領域に向けて偏向するように配置されている、マイクロメカニカル素子(1)。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ( 200 6.01) , G02B 26/10 ( 200 6.01) , B81B 3/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G02B 26/08 E , G02B 26/10 104 Z , B81B 3/00

引用特許：

審査官引用 (5件)

画像表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-229108 出願人：ブラザー工業株式会社
特開昭63-158881
特開平4-252923

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