特許

J-GLOBAL ID：200903080839032918

マイクロミラー素子および光スイッチ

発明者： 山本 毅 ,  竹内 真一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 酒井 昭徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-108510
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292521
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】光検出機能を備えた低コストのマイクロミラー素子、および、それを備えた光スイッチを提供する。【解決手段】マイクロミラー素子100は、ミラー駆動電極102と光検出器110とが配設された配線基板101上に、支持体109を介して、ミラー体103が配設されて構成される。ミラーは、ミラーフレーム104と、該ミラーフレーム104に揺動可能に支持された可動ミラー106とから構成され、可動ミラー106の中心には、光透過孔111が形成されている。光透過孔111を透過した光が、光検出器110で検出される。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

支持体を介して基板の上に配置され、枠部と前記枠部に揺動可能に支持された可動ミラーとを有し、前記可動ミラーが入射光の一部を透過可能に構成されたミラー体と、 前記基板上に設けられ、前記可動ミラーを透過した光を検出する光検出手段と、 を備えることを特徴とするマイクロミラー素子。

IPC (2件)：

G02B26/08 ,  B81B3/00

FI (2件)：

G02B26/08 E ,  B81B3/00

Fターム (7件)：

2H041AA14 ,  2H041AA16 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ06 ,  2H041AZ08

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 国際公開第00/020899号パンフレット
  
• 米国特許第6044705号明細書
  
• ミラー、それを用いた光スイッチならびにその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-039752   出願人：日本電信電話株式会社

審査官引用 (4件)

• 光マトリクススイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-235856   出願人：株式会社日立製作所, 日立金属株式会社
• 特開昭61-275069
  
• 機能デバイス、その製造方法及び駆動回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-226416   出願人：日本電気株式会社
• 光スイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-032381   出願人：三菱電機株式会社