磁気センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：特許業務法人イトーシン国際特許事務所 , 星宮勝美 , 城澤達哉 , 伊藤進
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-055480
特許番号：特許第6538226号
出願日： 2018年03月23日
要約：

【課題】外部磁界の3方向の成分を検出する3つの検出部を含む磁気センサにおいて、1つの検出部に含まれる軟磁性構造体に起因して他の2つの検出部の出力の特性が異なることを抑制する。【解決手段】磁気センサ1は、外部磁界のX方向、Y方向、Z方向の成分を検出する第1ないし第3の検出部10,20,30を備えている。第3の検出部30は軟磁性構造体を含んでいる。第1の検出部10は、第1および第2の部分11,12を含んでいる。第2の検出部20は、第3および第4の部分21,22を含んでいる。第1の部分11と第4の部分22は、X方向における第3の検出部30の両側に位置している。第2の部分12と第3の部分21は、Y方向における第3の検出部30の両側に位置している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

【請求項1】外部磁界の第1の方向に平行な方向の成分を検出するための第1の検出部と、前記外部磁界の第2の方向に平行な方向の成分を検出するための第2の検出部と、前記外部磁界の第3の方向に平行な方向の成分を検出するための第3の検出部と、前記第1ないし第3の検出部を支持する支持部とを備えた磁気センサであって、前記第1ないし第3の方向は、互いに直交し、前記支持部は、前記第3の方向に直交する基準平面を有し、前記基準平面は、互いに異なる第1の領域と第2の領域と第3の領域を含み、前記第1の領域は、前記基準平面に前記第1の検出部を垂直投影してできる領域であり、前記第2の領域は、前記基準平面に前記第2の検出部を垂直投影してできる領域であり、前記第3の領域は、前記基準平面に前記第3の検出部を垂直投影してできる領域であり、前記第1の検出部は、互いに異なる位置に配置された第1の部分と第2の部分とを含み、前記第2の検出部は、互いに異なる位置に配置された第3の部分と第4の部分とを含み、前記第1ないし第4の部分と前記第3の検出部の各々は、少なくとも1つの磁気検出素子を含み、前記第3の検出部は、更に、軟磁性材料よりなる軟磁性構造体を含み、前記第1の領域は、前記基準平面に前記第1の部分を垂直投影してできる第1の部分領域と、前記基準平面に前記第2の部分を垂直投影してできる第2の部分領域とを含み、前記第2の領域は、前記基準平面に前記第3の部分を垂直投影してできる第3の部分領域と、前記基準平面に前記第4の部分を垂直投影してできる第4の部分領域とを含み、前記第3の領域の重心を通り、前記第3の方向に垂直で且つ互いに直交する2つの直線を第1の直線と第2の直線としたとき、前記第1の部分領域と前記第4の部分領域は、前記第1の直線に平行な方向における前記第3の領域の両側または片側に位置し、前記第2の部分領域と前記第3の部分領域は、前記第2の直線に平行な方向における前記第3の領域の両側または片側に位置し、前記第1および第2の部分の各々は、前記外部磁界の前記第1の方向に平行な方向の成分に対応する検出値を生成し、前記第3および第4の部分の各々は、前記外部磁界の前記第2の方向に平行な方向の成分に対応する検出値を生成することを特徴とする磁気センサ。

IPC (3件)：

G01R 33/02 ( 200 6.01) , G01R 33/09 ( 200 6.01) , H01L 43/08 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01R 33/02 V , G01R 33/09 , G01R 33/02 L , H01L 43/08 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

磁気センサおよび磁気センサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-191383 出願人：旭化成エレクトロニクス株式会社
3軸デジタルコンパス
公報種別：公表公報出願番号：特願2016-515637 出願人：江蘇多維科技有限公司
多成分磁場センサー
公報種別：公表公報出願番号：特願2016-528465 出願人：ゼンジテックゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング

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