特許
J-GLOBAL ID：201903002506667602

片面研磨装置

発明者：
赤木 芳幸

赤木 芳幸 について


出願人/特許権者：
浜井産業株式会社

浜井産業株式会社 について


代理人 (1件)： 森田 雄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-017263
公開番号（公開出願番号）：特開2019-130652
出願日： 2018年02月02日
公開日（公表日）： 2019年08月08日
要約：
【課題】ワークに対してウェイトを移載、除去するための構造を簡略化し、ウェイトのハンドリング作業を短時間で容易に行えるようにした片面研磨装置を提供する。【解決手段】定盤104上に研磨パッド104aを介して配置されたワークホルダ105内のワークWを複数のウェイトにより加圧すると共に、定盤104とワークWとを相対的に回転させてワークWの一面を研磨パッド104aにより研磨する片面研磨装置であって、前記ウェイトとして、重さが異なる複数種類の分割ウェイト110a〜110cを用意しておき、定盤104の外部で所定の荷重分布に従って予め配置された分割ウェイト110a〜110cを、ウェイト搬送装置により一括してワークWの上面に移載可能とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
定盤上に研磨パッドを介して配置されたワークホルダ内のワークを複数のウェイトにより加圧すると共に、前記定盤と前記ワークとを相対的に回転させて前記ワークの一面を前記研磨パッドにより研磨する片面研磨装置であって、 前記ウェイトとして、重さが異なる複数の分割ウェイトを用意しておき、 前記定盤の外部において所定の荷重分布に従って予め配置された前記複数の分割ウェイトを、ウェイト搬送装置により一括して前記ワークホルダ内の前記ワークの上面に移載可能としたことを特徴とする片面研磨装置。
IPC (6件)：
B24B 37/005 ,  B24B 37/10 ,  B24B 37/30 ,  B24B 37/34 ,  B24B 7/22 ,  H01L 21/304
FI (6件)：
B24B37/005 A ,  B24B37/10 ,  B24B37/30 E ,  B24B37/34 ,  B24B7/22 Z ,  H01L21/304 621D
Fターム (26件)：
3C043BA09 ,  3C043BA13 ,  3C043BB07 ,  3C043CC07 ,  3C043CC13 ,  3C043DD05 ,  3C043DD06 ,  3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158AA12 ,  3C158AB04 ,  3C158BA02 ,  3C158BA05 ,  3C158CA01 ,  3C158CA06 ,  3C158CB03 ,  3C158CB05 ,  3C158DA17 ,  3C158EA13 ,  3C158EA23 ,  3C158EB01 ,  5F057AA35 ,  5F057BA11 ,  5F057CA11 ,  5F057DA02 ,  5F057FA19
引用特許：
審査官引用 (8件)
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