特許
J-GLOBAL ID:201903004169203235
水晶振動子及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
, 佐藤 睦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-517900
特許番号:特許第6569874号
出願日: 2016年05月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 水晶の結晶軸であるX軸、Y軸、Z軸のうち、前記X軸の回りに前記Z軸から所定の角度回転させた軸をZ ́軸とした場合、前記X軸及び前記Z ́軸によって特定される面と平行な面を主面として切り出されたATカットの水晶基板と、前記水晶基板に設けられている第1励振電極及び第2励振電極とを含む水晶振動素子と、
前記水晶振動素子が搭載されたベース部材と、
前記水晶振動素子を密封した内部空間を配置するようにベース部材に接続されたリッド部材と
を備え、
前記水晶基板は、前記第1励振電極及び前記第2励振電極によって励振される振動部と、当該振動部の外側に設けられ、当該振動部よりも厚さが薄い周辺部とを含み、前記振動部の主面にそれぞれ前記第1及び第2励振電極が設けられ、
前記水晶基板は、前記Z ́軸と平行な方向である第1方向及び前記X軸と平行な方向である第2方向を有し、前記第1方向及び第2方向のうち一方は長手方向であり他方は短手方向であり、
前記振動部は、前記第1方向における第1辺側に設けられたテーパ側面を有し、当該テーパ側面は、前記周辺部と鋭角で接するように傾斜しており、
前記水晶振動素子は、前記第1励振電極に電気的に接続された第1導電保持部材と、前記第2励振電極に電気的に接続された第2導電保持部材とを介して前記ベース部材に搭載され、
前記第1導電保持部材が、第1延出電極を介して前記第1励振電極に電気的に接続され、
前記第2導電保持部材が、第2延出電極を介して前記第2励振電極に電気的に接続され、
前記第1及び第2延出電極のいずれもが、前記振動部に設けられ前記周辺部と鈍角で接するように傾斜している他のテーパ側面を通って設けられ、
前記第1及び第2導電保持部材が、前記水晶基板における前記第1辺側において、前記テーパ側面と隣接する前記周辺部の領域を保持する、水晶振動子。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
審査官引用 (8件)
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水晶振動片
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-073762
出願人:エプソントヨコム株式会社
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圧電デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願2010-017552
出願人:京セラキンセキ株式会社
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圧電振動素子及びこれを含む振動素子パッケージ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2014-146509
出願人:サムソンエレクトロ-メカニックスカンパニーリミテッド.
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