特許

J-GLOBAL ID：201903004199476945

ヘテロダイン干渉装置

発明者： 藤田 宏夫 ,  服部 義次
出願人/特許権者： ツクモ工学株式会社
代理人 (1件)： 上村 欣浩
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-050282
公開番号（公開出願番号）：特開2017-166876
特許番号：特許第6501307号
出願日： 2016年03月14日
公開日（公表日）： 2017年09月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 レーザ光を発するレーザ光源と、前記レーザ光がそれぞれ入射され且つ音響光学素子駆動部から出力される相互に異なる周波数の信号で駆動される第1音響光学素子及び第2音響光学素子を有し、該第1音響光学素子から出射されるレーザ光を高さ形状を測定する対象物に照射することで該対象物にて反射或いは透過する物体光を得るとともに該第2音響光学素子から該物体光とは周波数が異なる参照光を得ることで、該物体光と該参照光の周波数の差の周波数を有するともに干渉光強度が時間的に正弦波状に変化して2次元広がりを有するビート画像を作成するヘテロダイン干渉光学系と、前記ビート画像の周波数近傍の周波数帯域で応答して該ビート画像を検出する画像検出部と、前記ビート画像の1周期の期間内の定められたタイミングに同期して該ビート画像を複数枚検出するように画像検出動作を制御する画像検出制御部と、前記検出された複数枚の画像間の強度を演算して前記ビート画像の位相を算出する画像処理部と、前記画像処理部で得られた位相から前記対象物の高さ形状を算出する形状算出部とを備えるヘテロダイン干渉装置であって、 前記音響光学素子駆動部は、キャリア信号と該キャリア信号の周波数よりも低い周波数となる第1変調信号との間で振幅変調された2周波成分を有する第1信号で前記第1音響光学素子を駆動することにより、該第1音響光学素子から2つのレーザ光を発生させ、また該キャリア信号と該キャリア信号の周波数よりも低く且つ第1変調信号の周波数とは異なる周波数となる第2変調信号との間で振幅変調された2周波成分を有する第2信号で前記第2音響光学素子を駆動することにより、該第2音響光学素子から2つのレーザ光を発生させるものであり、 前記ヘテロダイン干渉光学系は、前記第1音響光学素子から発生した2つのレーザ光の何れか一方と、前記第2音響光学素子から発生した2つのレーザ光の何れか一方との間で前記ビート画像を作成するヘテロダイン干渉装置。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ( 200 6.01) ,  G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ヘテロダイン干渉装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-144701   出願人：ツクモ工学株式会社
• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-131736   出願人：株式会社ニコン