特許
J-GLOBAL ID：201903004398242406
圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 和昭
, 仲井 智至
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-078914
公開番号（公開出願番号）：特開2019-014229
出願日： 2018年04月17日
公開日（公表日）： 2019年01月31日
要約：
【課題】圧電素子の変位を阻害することなく、液供給口の周囲の膜の破壊を抑制した圧電デバイス、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。【解決手段】ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドに用いられる圧電デバイスであって、前記ノズルに連通する個別液室12、14、15と、前記個別液室12、14、15に連通する液供給室13と、が形成された流路形成基板10と、前記流路形成基板10の前記個別液室12、14、15と前記液供給室13とに対応する位置に形成された振動板50と、前記液供給室13に形成された複数の液供給口16と、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とを含み、前記振動板50の前記個別液室12、14、15に対応する位置に形成された圧電素子300と、を具備し、前記液供給口16は、前記振動板50を貫通して設けられており、前記振動板50は、酸化ジルコニウムを含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドに用いられる圧電デバイスであって、
前記ノズルに連通する個別液室と、前記個別液室に連通する液供給室と、が形成された流路形成基板と、
前記流路形成基板の前記個別液室と前記液供給室とに対応する位置に形成された振動板と、
前記液供給室に形成された複数の液供給口と、
第1電極と圧電体層と第2電極とを含み、前記振動板の前記個別液室に対応する位置に形成された圧電素子と、
を具備し、
前記液供給口は、前記振動板を貫通して設けられており、
前記振動板は、酸化ジルコニウムを含むことを特徴とする圧電デバイス。
IPC (1件)：
FI (3件)：
B41J2/14 613
, B41J2/14 305
, B41J2/14 605
2C057AF65
, 2C057AG12
, 2C057AG14
, 2C057AG33
, 2C057AG44
, 2C057AG52
, 2C057AG55
, 2C057AN01
, 2C057DB03
