特許
J-GLOBAL ID：201903005659841600
樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法、並びに重合体の合成方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人はなぶさ特許商標事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-509479
特許番号：特許第6471879号
出願日： 2016年03月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】下記式(1a)で表される構造単位及び下記式(1b)で表される構造単位を有する重合体と有機溶剤とを含む、絶縁膜形成用樹脂組成物。
[式(1a)及び(1b)中、T0は少なくとも1つの水素原子がアミノ基で置換されたアリーレン基を少なくとも1つ含む二価の有機基を表し、T1は置換基を少なくとも1つ有するアリーレン基を少なくとも1つ含む二価の有機基を表し、該置換基は、下記式(2):
{式(2)中、Zは下記式(3)、式(4)、式(5)又は式(6):
(式(3)、式(4)、式(5)及び式(6)中、mは1又は2を表し、R1は水素原子、炭素原子数1乃至18のアルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基又はアルコキシシリル基を表し、nは0又は1を表し、R2は水素原子、炭素原子数1乃至18のアルキル基、ビニル基、アリル基、2-ブテン-1-イル基、2-メチル-2-プロペニル基、1-プロペニル基又はアルコキシシリル基を表し、該アルキル基は置換基としてアルコキシシリル基を有してもよく、R3はメチレン基、エチレン基、エテン-1,2-ジイル基又はビニリデン基を表す。)で表される二価の基を表す。}で表される置換基である。]
IPC (8件)：
C09D 171/10 ( 200 6.01)
, C09D 7/65 ( 201 8.01)
, C09D 5/25 ( 200 6.01)
, C08G 65/48 ( 200 6.01)
, H01L 21/312 ( 200 6.01)
, G03F 7/032 ( 200 6.01)
, G03F 7/023 ( 200 6.01)
, G03F 7/027 ( 200 6.01)
C09D 171/10
, C09D 7/65
, C09D 5/25
, C08G 65/48
, H01L 21/312 A
, H01L 21/312 D
, G03F 7/032
, G03F 7/023
, G03F 7/027 511
