特許
J-GLOBAL ID：200903022111321247

感光性樹脂組成物、高分子化合物、パターンの製造法および電子デバイス

発明者：
渡邉 康史

渡邉 康史 について

, 
佐藤 健一郎

佐藤 健一郎 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (2件)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-094242
公開番号（公開出願番号）：特開2009-244801
出願日： 2008年03月31日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：
【課題】感度、解像度及び耐熱性に優れる硬化パターンまたは硬化膜を形成できる感光性樹脂組成物を提供する。また、前記感光性樹脂組成物の使用により、感度、解像度及び耐熱性に優れ、良好な形状のパターンが得られるパターンの製造法を提供する。また、良好な形状と特性のパターンを形成することにより、信頼性の高い電子デバイスを提供する。【解決手段】下記一般式(1)で表されるモノマーと下記一般式(2)で表されるモノマーとを反応して得られる高分子化合物(a)と感光剤(b)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。(ここで、Tは酸素原子および/もしくは硫黄原子を示す。Ar1、Ar2は炭素数6〜30の2〜6価の有機基を示し、置換基によって置換されていてもよい。R1およびR2は水素原子またはシリル基を表し、各々が異なっていても同じであってもよい。X1およびX2は脱離基を表し、各々が異なっていても同じであってもよい。Yは酸性基または酸分解性基で保護された酸性基を含む基を表す。高分子化合物中に含まれる複数のYは、1種類でも、2種類以上でもよい。a、bは各々0〜4の整数であり、a+b≧1である。)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)で表されるモノマーと下記一般式(2)で表されるモノマーとを反応して得られる高分子化合物(a)と感光剤(b)を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/023 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/004 ,  C08G 75/04 ,  C08G 65/32
FI (5件)：
G03F7/023 ,  H01L21/30 502R ,  G03F7/004 501 ,  C08G75/04 ,  C08G65/32
Fターム (31件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025BE07 ,  2H025CB21 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J005AA24 ,  4J005BA00 ,  4J005BB02 ,  4J005BD00 ,  4J005BD02 ,  4J005BD03 ,  4J030BA04 ,  4J030BA10 ,  4J030BA42 ,  4J030BA49 ,  4J030BB14 ,  4J030BC08 ,  4J030BC16 ,  4J030BD01 ,  4J030BD05 ,  4J030BD06 ,  4J030BG01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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