特許
J-GLOBAL ID：201903005731750925
変位計測方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 茂樹
, 小池 勇三
, 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-244762
公開番号（公開出願番号）：特開2019-113328
出願日： 2017年12月21日
公開日（公表日）： 2019年07月11日
要約：
【課題】変位計測対象の所定の領域の変位分布が測定できるようにする。【解決手段】第1工程S101で、ウィスパリングギャラリーモードの光共振器の所定箇所で光共振器に光結合する光導波路に光を供給した状態で、光導波路から出力された光の周波数を測定する。上述したように測定をしている状態で、第2工程S102で、光共振器からなる検出部を、光共振器と光結合可能な範囲で変位計測対象に近づけて、変位計測対象と検出部との相対的な位置を変更する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ウィスパリングギャラリーモードの光共振器の所定箇所で前記光共振器に光結合する光導波路に光を供給した状態で、前記光導波路から出力された光の周波数を測定する第1工程と、
前記測定をしている状態で、前記光共振器からなる検出部を前記光共振器と光結合可能な範囲で変位計測対象に近づけて、前記変位計測対象と前記検出部との相対的な位置を変更する第2工程と
を備えることを特徴とする変位計測方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (16件)：
2F065AA02
, 2F065AA09
, 2F065AA20
, 2F065AA51
, 2F065BB15
, 2F065DD02
, 2F065DD03
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065JJ01
, 2F065JJ15
, 2F065LL01
, 2F065LL02
, 2F065MM07
, 2F065PP03
, 2F065QQ29
審査官引用 (3件)
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光集積型変位計測装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-069467
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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微小気泡光共振器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2010-055389
出願人：オーエフエスファイテル,エルエルシー
-
横断方向閉ループ共振器
公報種別：公表公報
出願番号：特願2007-535739
出願人：コーニングインコーポレイテッド
引用文献：
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