特許
J-GLOBAL ID：201903005915928816
広測定レンジの変形測定方法、装置、およびそのプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-159491
公開番号（公開出願番号）：特開2019-039688
出願日： 2017年08月22日
公開日（公表日）： 2019年03月14日
要約：
【課題】従来の白黒格子に位相接続を適用しようとすると,異なるピッチの格子を2枚用意して変形前後に関して2回ずつ撮影する必要があり、再現性と効率に問題があった。【解決手段】異なるピッチの赤色と青色の格子を描きこんだカラー格子を1枚作成し、カラーデジタルカメラを用いて変形前後に各1回撮影されたカラー画像をR(赤)成分とB(青)成分に分離し2枚のグレースケール画像を得た。そしてその2枚のグレースケール画像から得られる異なるピッチのモアレ模様の位相分布を位相接続して得られる拡大されたピッチの変形前後の位相分布から位相差を算出し、広測定レンジの変位分布を求めた。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
サンプリングモアレ法により異なるカラーからなる格子(以下、カラー格子とよぶ)を用いた面内変位を計測する方法であって、
前記異なるカラー格子は互い違いに平行して配置されたカラーおよびピッチサイズが異なる規則格子からなり、
前記ピッチサイズの異なる規則格子は位相接続すると前記ピッチサイズが拡大した規則格子となるように構成され、
前記カラー格子を試料に貼付けて、
前記異なるカラーからなるカラー撮像素子を備えた光学式カメラを用いて、前記カラー格子を貼付けた試料の変形前後のカラー画像を撮影し、
前記撮影した試料の変形前後のカラー画像の各々において、前記異なるカラーに係るカラー撮像素子の輝度情報から当該異なるピッチサイズの規則格子の位相情報を求め、
前記異なるピッチサイズの規則格子の位相情報を前記位相接続して前記ピッチサイズが拡大した規則格子の位相情報を生成し、
前記試料の変形前後の前記ピッチサイズが拡大した規則格子の位相情報に基づいて前記サンプリングモアレ法により前記試料の面内変位を算出して計測することを特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2F065AA03
, 2F065AA09
, 2F065AA23
, 2F065AA65
, 2F065BB05
, 2F065CC14
, 2F065DD03
, 2F065FF06
, 2F065JJ26
, 2F065LL22
, 2F065QQ25
, 2F065QQ28
, 2F065QQ31
