特許

J-GLOBAL ID：201903006841938292

検査治具及び検査方法

発明者： 花島 聡
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-095521
公開番号（公開出願番号）：特開2019-201143
出願日： 2018年05月17日
公開日（公表日）： 2019年11月21日
要約：

【課題】撮像手段のピクセルサイズを正確に測定することができる検査治具及び検査方法を提供すること。【解決手段】加工装置の撮像手段のピクセルサイズを測定するための板状の検査治具100であって、板体101の表面に幅が異なる第一パターン102、第二パターン103及び第三パターン104と、これら第一パターン102、第二パターン103及び第三パターン104の各幅La、Lb、Lcの実測値を記録した二次元コード105とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

加工装置の撮像手段のピクセルサイズを測定するための板状の検査治具であって、 表面にパターンと、該パターンの幅を記録した二次元コードと、 を備えることを特徴とする検査治具。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

H01L21/78 R ,  H01L21/66 J ,  H01L21/66 D

Fターム (17件)：

4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ32 ,  5F063AA28 ,  5F063AA48 ,  5F063BA33 ,  5F063BA48 ,  5F063DD01 ,  5F063DE12 ,  5F063DE23 ,  5F063DE33 ,  5F063EE21 ,  5F063FF04 ,  5F063FF05

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 校正器および画像測定機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-032304   出願人：株式会社ニコン
• 画像測定装置の校正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-174225   出願人：株式会社ミツトヨ
• 切削ブレードの外径サイズ検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-096343   出願人：株式会社ディスコ