特許
J-GLOBAL ID：200903091433539568
画像測定装置の校正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
, 木下 實三
, 中山 寛二
, 石崎 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-174225
公開番号（公開出願番号）：特開2008-003000
出願日： 2006年06月23日
公開日（公表日）： 2008年01月10日
要約：
【課題】安価であり、かつ、画像データの各ポイントに対して補正データを得て高精度に画像測定装置を校正する画像測定装置の校正方法を提供する。【解決手段】 真直なエッジを有する校正ワークを用意し、エッジがマシン座標系のy軸に平行になるようにステージに載置する。ステージとCCDカメラとをx軸方向に相対移動させつつCCDカメラの撮像領域内の異なる位置でエッジを撮像する(画像データ取得工程)。エッジを撮像した位置については駆動機構の駆動量から検出しておく(撮像ポイント検出工程)。撮像された画像データ中でエッジ検出を行い(エッジ検出工程)、エッジの座標を出力する。画像データ内において二次元的に広く分布したデータを得る。 画像データ上のエッジ検出にて求められたエッジ座標と駆動機構の駆動量から求められたエッジ位置とのずれ量をエッジ位置ずれ量として各撮像ポイントについて算出する(ずれ量算出工程)。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
被測定物を載置するステージに対して対物レンズを有する撮像手段を相対的に移動させる駆動機構を備え、前記撮像手段にて撮像した画像データ上にて測定ポイントを検出するとともにマシンに設定されたx座標とy座標とからなる二次元座標系で前記測定ポイントの位置を出力する画像測定機の出力値を校正する画像測定機の校正方法において、
真直なエッジを有する校正ワークのエッジの方向を二次元座標系のy軸方向に平行にした状態で前記校正ワークを前記ステージに載置する校正ワーク載置工程と、
前記駆動機構によって前記ステージと前記撮像手段とをx軸方向に相対移動させるとともに前記エッジを前記撮像手段の撮像領域内の異なる位置で撮像する画像データ取得工程と、
前記画像データ取得工程において前記エッジを撮像した際における前記撮像手段と前記校正ワークとの相対位置を撮像ポイントとして前記駆動機構の駆動量に基づいて検出する撮像ポイント検出工程と、
前記画像データ取得工程にて取得された画像データに基づいてエッジ検出を行うエッジ検出工程と、
予め設定された複数のy座標において前記各エッジのx座標値を出力するエッジ位置出力工程と、
前記エッジ位置出力工程にて出力されたエッジの各x座標値を前記撮像ポイントに基づく実際のエッジ位置と対比した際のずれ量をエッジ位置ずれ量として算出するずれ量算出工程と、
撮像領域内の各位置における前記エッジ位置ずれ量の大きさに基づいて画像データ上の各位置におけるx方向の補正データを算出する補正データ算出工程と、
前記補正データ算出工程にて算出された補正データを対応する位置と対にして記憶する補正データ記憶工程と、を備える
ことを特徴とする画像測定装置の校正方法。
IPC (3件)：
G01B 11/00
, G06T 3/00
, G01B 11/02
G01B11/00 H
, G06T3/00 200
, G01B11/02 H
2F065AA03
, 2F065AA07
, 2F065AA14
, 2F065AA22
, 2F065BB02
, 2F065BB28
, 2F065EE00
, 2F065EE11
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF61
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065QQ32
, 2F065QQ42
, 2F065RR06
, 2F065SS13
, 2F065UU04
, 2F065UU05
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057DA03
, 5B057DA07
, 5B057DB02
, 5B057DC08
, 5B057DC16
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
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