CVD反応器のための改良された放射シールディング

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-219060
公開番号（公開出願番号）：特開2019-060025
出願日： 2018年11月22日
公開日（公表日）： 2019年04月18日
要約：

【課題】内部の赤外線放射に対する90%以上の平均反射率を有し、300°C以上の壁温度でも動作可能な高効率のCVD反応器を製造する方法の提供。【解決手段】蒸着プレート300にCVD反応器を搭載することにより蒸着チャンバが形成され、マグネトロンスパッタリング、イオンビームアシストマグネトロンスパッタリング、陰極アーク、フィルタード陰極アーク、電子ビーム蒸着、および熱蒸着などの物理気相成長により窒化チタン、窒化ジルコニウム、窒化ハフニウム等の金属窒化物を1〜10μm蒸着することを特徴とするCVD反応器を製造する方法。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ベースプレートと、前記ベースプレートに取付け可能なエンクロージャとによって形成された反応チャンバを備え、前記エンクロージャは、金属窒化物層を含む内部表面を有する、化学気相成長反応器。

IPC (3件)：

C23C 16/44 , C23C 14/06 , H01L 21/31

FI (3件)：

C23C16/44 B , C23C14/06 A , H01L21/31 B

Fターム (21件)：

4K029AA01 , 4K029AA26 , 4K029BA01 , 4K029BA17 , 4K029BA58 , 4K029BA60 , 4K029BB02 , 4K029BC00 , 4K029CA01 , 4K029CA03 , 4K029CA05 , 4K029CA08 , 4K029DB11 , 4K029DB21 , 4K029EA01 , 4K030BA29 , 4K030FA10 , 4K030KA08 , 4K030KA47 , 5F045AB40 , 5F045EB03

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭59-224116
特開昭62-124275
耐食性及び密着性に優れた窒化チタン皮膜並びにその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-026986 出願人：株式会社神戸製鋼所

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