特許
J-GLOBAL ID：201903010679861121

プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法

発明者：
呉 準席

呉 準席 について

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伊藤 昌文

伊藤 昌文 について

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早川 壮則

早川 壮則 について

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矢島 英樹

矢島 英樹 について


出願人/特許権者：
学校法人 名城大学

学校法人 名城大学 について

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株式会社オーク製作所

株式会社オーク製作所 について


代理人 (2件)： 三浦 邦夫 ,  三浦 邦陽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-002288
公開番号（公開出願番号）：特開2019-121564
出願日： 2018年01月11日
公開日（公表日）： 2019年07月22日
要約：
【課題】プラズマ到達距離を長くすることができ、さらに放電容器内の電極の劣化及び沿面放電を防止することができるプラズマ発生装置を得ること。【解決手段】放電容器(10)を介在させて配設された一対の電極(13a、15)を有するプラズマ発生装置において、上記一対の電極のうち、一方の電極(15)の放電用ガスの流れ方向下流側端部(15s)が、他方の電極(13a)の放電用ガスの流れ方向下流側端部(13t)より、放電用ガスの流れ方向に沿って下流側に配置されているプラズマ発生装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
放電容器を介在させて配設された一対の電極を有するプラズマ発生装置において、上記一対の電極のうち、一方の電極の放電用ガスの流れ方向下流側端部が、他方の電極の放電用ガスの流れ方向下流側端部より、放電用ガスの流れ方向に沿って下流側に配置されていることを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (2件)：
H05H 1/24 ,  H05H 1/26
FI (2件)：
H05H1/24 ,  H05H1/26
Fターム (14件)：
2G084BB07 ,  2G084BB23 ,  2G084CC34 ,  2G084DD12 ,  2G084DD13 ,  2G084DD17 ,  2G084DD18 ,  2G084DD22 ,  2G084DD66 ,  2G084FF02 ,  2G084FF22 ,  2G084FF39 ,  2G084GG02 ,  2G084GG11
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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