特許

J-GLOBAL ID：201903010679861121

プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法

発明者： 呉 準席 ,  伊藤 昌文 ,  早川 壮則 ,  矢島 英樹
出願人/特許権者： 学校法人 名城大学 ,  株式会社オーク製作所
代理人 (2件)： 三浦 邦夫 ,  三浦 邦陽
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-002288
公開番号（公開出願番号）：特開2019-121564
出願日： 2018年01月11日
公開日（公表日）： 2019年07月22日
要約：

【課題】プラズマ到達距離を長くすることができ、さらに放電容器内の電極の劣化及び沿面放電を防止することができるプラズマ発生装置を得ること。【解決手段】放電容器(10)を介在させて配設された一対の電極(13a、15)を有するプラズマ発生装置において、上記一対の電極のうち、一方の電極(15)の放電用ガスの流れ方向下流側端部(15s)が、他方の電極(13a)の放電用ガスの流れ方向下流側端部(13t)より、放電用ガスの流れ方向に沿って下流側に配置されているプラズマ発生装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

放電容器を介在させて配設された一対の電極を有するプラズマ発生装置において、上記一対の電極のうち、一方の電極の放電用ガスの流れ方向下流側端部が、他方の電極の放電用ガスの流れ方向下流側端部より、放電用ガスの流れ方向に沿って下流側に配置されていることを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (2件)：

H05H 1/24 ,  H05H 1/26

FI (2件)：

H05H1/24 ,  H05H1/26

Fターム (14件)：

2G084BB07 ,  2G084BB23 ,  2G084CC34 ,  2G084DD12 ,  2G084DD13 ,  2G084DD17 ,  2G084DD18 ,  2G084DD22 ,  2G084DD66 ,  2G084FF02 ,  2G084FF22 ,  2G084FF39 ,  2G084GG02 ,  2G084GG11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 携帯型大気圧プラズマ発生装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-022313   出願人：国立大学法人茨城大学, スターエンジニアリング株式会社
• 大気圧低温プラズマ装置と表面処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-136549   出願人：国立大学法人群馬大学
• プラズマ反応器及びプラズマ電極板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-240209   出願人：日本特殊陶業株式会社