特許
J-GLOBAL ID：200903038997581698
携帯型大気圧プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
木幡 行雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-022313
公開番号（公開出願番号）：特開2007-207475
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：
【課題】ガス流量を抑えて大気圧プラズマを安定に維持し、その発光分析により所望のガス励起状態を得る携帯型大気圧プラズマ発生装置の提供。【解決手段】外部絶縁管8に軸方向移動可能に配した接地電極4及びその先端に固設した補助電極4aと、外部絶縁管8の軸心に配した内部絶縁管9と、その内部に配した電力電極3と、外部絶縁管8の後端に配したガス導入用のラバルノズル1と、外部絶縁管8先端のプラズマガス吹出口とで構成し、ガス供給部A-4から供給されたプラズマ生成ガスをラバルノズル1から外部絶縁管8内に導入し、接地電極4及び補助電極4aと電力電極3との間に、プログラマブル高周波電源部A-1により放電用の高周波電力を供給し、かつ電力電極3と被処理物7との間に、パルスバイアス電源A-2により、パルスバイアス電圧を印加してプラズマを発生させるように構成した。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
外部絶縁管の外周部にその軸方向に移動可能に配した接地電極と、前記外部絶縁管の外周部先端に配した、前記接地電極と同電位の補助電極と、前記外部絶縁管の軸心に沿って配した内部絶縁管と、前記内部絶縁管内に配した電力電極であって、後記高速ノズルから導入したガスが電離して生成したプラズマガスに、その一部又は全部を接触させるように構成した電力電極と、前記外部絶縁管の後端に配したガス導入用の高速ノズルと、前記外部絶縁管の先端に開口したプラズマガスの吹出口とで構成し、
前記高速ノズルから前記外部絶縁管内にプラズマ生成用のガスを導入すべく、ガス供給部から該高速ノズルにプラズマ生成用のガスを供給し、かつ前記接地電極及び前記補助電極と前記電力電極との間に、プログラマブル高周波電源により放電用の高周波電力を供給するように構成した携帯型大気圧プラズマ発生装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (3件)
審査官引用 (21件)
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