特許
J-GLOBAL ID：201903010852716353

フレーム一体型の蒸着マスク、フレーム一体型の蒸着マスク準備体、蒸着パターン形成方法、有機半導体素子の製造方法、有機ELディスプレイの製造方法

発明者：
小幡 勝也

小幡 勝也 について

, 
曽根 康子

曽根 康子 について

, 
穂刈 久実子

穂刈 久実子 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (2件)： 特許業務法人 インテクト国際特許事務所 ,  石橋 良規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-232606
公開番号（公開出願番号）：特開2019-073800
出願日： 2018年12月12日
公開日（公表日）： 2019年05月16日
要約：
【課題】高精細な蒸着パターンの形成が可能な蒸着マスクを提供する。【解決手段】フレームに、複数の蒸着マスクが固定されてなるフレーム一体型の蒸着マスクであって、複数の蒸着マスク100は、蒸着作製するパターンに対応する樹脂マスク開口部25を有する樹脂マスク20を含み、樹脂マスクは、長辺と短辺を有する四辺形を呈しており、樹脂マスクの一方の面において、樹脂マスクの長辺方向両端に位置し、且つ前記樹脂マスクの短辺に沿った、孤立する帯形状の金属層10を含み、複数の蒸着マスクは、短辺に沿った帯状の金属層においてフレームに固定されている蒸着マスク。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フレームに、複数の蒸着マスクが固定されてなるフレーム一体型の蒸着マスクであって、 前記複数の蒸着マスクは、蒸着作製するパターンに対応する樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクを含み、 前記樹脂マスクは、長辺と短辺を有する四辺形を呈しており、 前記複数の蒸着マスクは、前記樹脂マスクの一方の面において、前記樹脂マスクの長辺方向両端に位置し、且つ前記樹脂マスクの短辺に沿った、孤立する帯形状の金属層を含み、 前記複数の蒸着マスクは、前記短辺に沿った帯状の金属層において前記フレームに固定されており、 前記樹脂マスクの一方の面において、前記フレームと重なる領域を周縁部とし、前記フレームと重ならない領域を非周縁部としたときに、前記複数の蒸着マスクの少なくとも1つは、前記樹脂マスクの短辺に沿った帯形状の金属層が、前記周縁部と前記非周縁部を跨ぎ、当該金属層を形作る短辺の一辺は、その全てが前記周縁部と重なっている、 フレーム一体型の蒸着マスク。
IPC (6件)：
C23C 14/04 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H01L 27/32 ,  G09F 9/00 ,  G09F 9/30
FI (6件)：
C23C14/04 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H01L27/32 ,  G09F9/00 338 ,  G09F9/30 365
Fターム (26件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC35 ,  3K107GG04 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  5C094AA05 ,  5C094AA43 ,  5C094BA27 ,  5C094GB10 ,  5C094HA08 ,  5G435AA01 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435KK05 ,  5G435LL07 ,  5G435LL08
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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