特許
J-GLOBAL ID：201903011326418069
外観検査装置、及び外観検査装置の照明条件設定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
関根 武彦
, 中村 剛
, 今堀 克彦
, 和久田 純一
, 矢澤 広伸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-031111
公開番号（公開出願番号）：特開2019-144209
出願日： 2018年02月23日
公開日（公表日）： 2019年08月29日
要約：
【課題】十分な光学知識や経験がなくとも、外観検査装置において最適な照明条件を設定できるような技術を提供する。【解決手段】本発明に係る外観検査装置は、被検査物に照明光を照射する照明手段(112、113、114、115)と、前記被検査物を撮像する撮像手段111と、前記撮像手段によって撮像された被検査物の画像を分析し、前記被検査物の欠陥を検出する欠陥検出手段122と、前記被検査物に照射される前記照明光の照明条件を設定する照明条件設定手段113と、前記欠陥検出手段が前記被検査物の欠陥を検出するのに最も適した照明条件である最適照明条件を、複数の異なる前記照明条件によって撮像された画像に基づいて各照明条件をスコア化することにより、導出する最適照明条件導出手段114と、を有する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被検査物に照明光を照射する照明手段と、
前記被検査物を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段によって撮像された被検査物の画像を分析し、前記被検査物の欠陥を検出する欠陥検出手段と、
前記被検査物に照射される前記照明光の照明条件を設定する照明条件設定手段と、
前記欠陥検出手段が前記被検査物の欠陥を検出するのに最も適した照明条件である最適照明条件を、複数の異なる前記照明条件によって撮像された画像に基づいて各照明条件をスコア化することにより、導出する最適照明条件導出手段と、
を有する、外観検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2G051AA32
, 2G051AA65
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051BA01
, 2G051BB01
, 2G051BC01
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051EA16
, 2G051EA17
, 2G051EB01
