特許
J-GLOBAL ID：201903011830276950

弾性波装置

発明者：
三村 昌和

三村 昌和 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 宮▲崎▼・目次特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-527158
特許番号：特許第6536676号
出願日： 2016年06月16日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧電基板と、 前記圧電基板上に設けられたIDT電極と、 前記IDT電極を覆うように前記圧電基板上に設けられた誘電体層と、 を備え、 前記IDT電極が、第1の電極層と、該第1の電極層上に積層された第2の電極層とを有し、前記第1の電極層が、前記第2の電極層を構成している金属及び前記誘電体層を構成している誘電体よりも密度の高い金属若しくは合金により構成されており、 前記圧電基板が、LiNbO3により構成されており、 前記圧電基板を伝搬する弾性波の主モードは、レイリー波であり、 前記圧電基板のオイラー角(0°±5°,θ,0°±10°)において、θが8°以上、32°以下の範囲内にあり、 前記第1の電極層が、W又はWを主成分とする合金により構成されており、 前記第1の電極層の厚みが、前記IDT電極の電極指のピッチによって定まる弾性波の波長をλとしたときに、0.062λ以上であり、 前記IDT電極の厚みが、0.25λ以下である、弾性波装置。
IPC (1件)：
H03H 9/145 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H03H 9/145 Z ,  H03H 9/145 C
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM