特許
J-GLOBAL ID：201903012467046072
蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスク、蒸着マスク準備体、蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、有機ELディスプレイの製造方法、及びパターンの形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人 インテクト国際特許事務所
, 石橋 良規
, 林 剛史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-080690
公開番号（公開出願番号）：特開2019-189888
出願日： 2018年04月19日
公開日（公表日）： 2019年10月31日
要約：
【課題】樹脂マスクを含む蒸着マスクや、この蒸着マスクがフレームに固定されてなるフレーム付き蒸着マスクにおいて、より正確度のよい蒸着パターンを形成できる蒸着マスクや、フレーム付き蒸着マスクの提供。【解決手段】樹脂マスク20上に金属層10が設けられた蒸着マスクであって、前記樹脂マスク20は、蒸着パターンを形成するために必要な開口部25を有し、樹脂マスク20は、樹脂材料を含有しており、金属層10は、金属材料を含有しており、樹脂材料のガラス転移温度(Tg)に100°Cを加算した温度を、上限温度としたときに、縦軸を線膨張の割合、横軸を温度とする線膨張曲線において、温度25°Cから上限温度の範囲における樹脂マスク20の線膨張曲線の積分値を、温度25°Cから上限温度の範囲における金属層10の線膨張曲線の積分値で除した値が、0.55以上1.45以下の範囲内である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
樹脂マスク上に金属層が設けられた蒸着マスクであって、
前記樹脂マスクは、蒸着パターンを形成するために必要な開口部を有し、
前記樹脂マスクは、樹脂材料を含有しており、
前記金属層は、金属材料を含有しており、
前記樹脂材料のガラス転移温度(Tg)に100°Cを加算した温度を、上限温度としたときに、
縦軸を線膨張の割合、横軸を温度とする線膨張曲線において、温度25°Cから前記上限温度の範囲における前記樹脂マスクの線膨張曲線の積分値を、温度25°Cから前記上限温度の範囲における前記金属層の線膨張曲線の積分値で除した値が、0.55以上1.45以下の範囲内である、
蒸着マスク。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/04 A
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC33
, 3K107FF05
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
