特許
J-GLOBAL ID：201903015322976968
テンプレートの製造方法およびテンプレート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
藤枡 裕実
, 深町 圭子
, 伊藤 英生
, 後藤 直樹
, 立石 英之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-083503
公開番号（公開出願番号）：特開2018-121081
特許番号：特許第6579217号
出願日： 2018年04月24日
公開日（公表日）： 2018年08月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 主面に、転写パターン領域とアライメントマーク領域を有し、前記アライメントマーク領域に凹部と凸部から構成されるアライメントマークが形成されている凹凸基板を準備する工程と、
高屈折材料膜を形成する材料を含有するインクをインクジェット方式によって前記アライメントマーク領域に局所的に配設する工程と、
前記インクの溶媒を揮発させて前記高屈折材料膜を形成する工程と、
前記アライメントマークを構成する凹部の底面の上に形成された前記高屈折材料膜を残しつつ、前記主面から突出する前記高屈折材料膜を除去する工程と、
を順に備え、
前記凹凸基板が、前記アライメントマーク領域の外縁に内接する溝構造を有しており、
前記溝構造で囲まれた領域の外側に、前記転写パターン領域が存在し、
前記アライメントマーク領域に局所的に配設される前記インクの配設量が、
前記アライメントマークを構成する凹部の全てを合わせた容積に前記溝構造の容積を加えた容積を満たす量以下であることを特徴とするテンプレートの製造方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 33/38 ( 200 6.01)
, B29C 59/04 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 33/38
, B29C 59/04 Z
