特許
J-GLOBAL ID：201903015409847803

長尺フィルムの真空成膜方法及び真空成膜装置

発明者：
神田 栄三郎

神田 栄三郎 について

, 
渡邉 寛人

渡邉 寛人 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (1件)： 辻川 典範
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-219973
公開番号（公開出願番号）：特開2019-044272
出願日： 2018年11月26日
公開日（公表日）： 2019年03月22日
要約：
【課題】 スルーホールを有する長尺樹脂フィルムに連続的にスパッタ膜を成膜することが可能な真空成膜装置を提供する。【解決手段】 予め穿孔されたスルーホール用の複数の貫通孔を有する長尺フィルムFを真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送する搬送機構としての巻出ロール1及び巻取ロール2と、長尺フィルムFに対して熱負荷の掛かる成膜処理を施す成膜処理手段と、内部に冷媒循環路12aを有し且つ長尺フィルムFを巻き付けて冷却する外周面を有する冷却ロール3と、冷却ロール3の外周面とそこに巻き付けられる長尺フィルムFとの間に介在する長尺の介在フィルムSをロールツーロールで搬送する第2の搬送機構としての第2巻出ロール6及び第2巻取ロール7とを備えた、両面めっき基板用の真空成膜装置であって、該介在フィルムは該長尺フィルムと同じ幅を有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
予め穿孔されたスルーホール用の複数の貫通孔を有する長尺フィルムを真空チャンバー内においてロールツーロールで搬送する搬送機構と、該長尺フィルムに対して熱負荷の掛かる成膜処理を施す成膜処理手段と、内部に冷媒循環路を有し且つ該長尺フィルムを巻き付けて冷却する外周面を有する冷却ロールと、該冷却ロールの外周面とそこに巻き付けられる該長尺フィルムとの間に介在する長尺の介在フィルムをロールツーロールで搬送する第2の搬送機構とを備えた、両面めっき基板用の長尺フィルムの真空成膜装置であって、前記介在フィルムは前記長尺フィルムと同じ幅を有することを特徴とする長尺フィルムの真空成膜装置。
IPC (2件)：
C23C 14/56 ,  H05K 3/00
FI (3件)：
C23C14/56 B ,  C23C14/56 D ,  H05K3/00 R
Fターム (13件)：
4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA08 ,  4K029BA25 ,  4K029BB02 ,  4K029BB04 ,  4K029BC03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC34 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03
引用特許：
審査官引用 (3件)

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