特許
J-GLOBAL ID：201503021178613546

成膜方法、成膜装置およびそれを用いた金属薄膜付樹脂フィルムの製造方法

発明者：
神田 栄三郎

神田 栄三郎 について


出願人/特許権者：
住友金属鉱山株式会社

住友金属鉱山株式会社 について


代理人 (2件)： 辻川 典範 ,  山本 正緒
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-086737
公開番号（公開出願番号）：特開2015-206069
出願日： 2014年04月18日
公開日（公表日）： 2015年11月19日
要約：
【課題】 基材の幅方向の両端部にも中央部分と同じ厚さの膜を連続的に安定して成膜しつつ、キャンロール外周面の両縁部にスパッタ粒子が堆積するのを防止する成膜方法を提供する。【解決手段】 ロールツーロール方式で搬送される長尺状の樹脂フィルムFを、その幅よりも幅広の外周面を有し且つ冷却機構を備えたキャンロール56の該外周面に巻きつけて冷却しながら樹脂フィルムFの表面に乾式めっき法で金属薄膜を成膜する成膜方法であって、該外周面のうち樹脂フィルムFが巻き付いていない両縁部をそれぞれ覆い且つ該外周面に巻き付いている樹脂フィルムFの幅方向両端部においてそれぞれ樹脂フィルムFと該外周面との間に介在するように一対の長尺状の薄膜材71a、71bを樹脂フィルムFの搬送方向と平行にロールツーロール方式で搬送する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
ロールツーロール方式で搬送される長尺状の基材を、その幅よりも幅広の外周面を有し且つ冷却機構を備えた円筒状部材の該外周面に巻きつけて冷却しながら該基材の表面に乾式めっき法で金属薄膜を成膜する成膜方法であって、 該外周面のうち該基材が巻き付いていない両縁部をそれぞれ覆い且つ該外周面に巻き付いている基材の幅方向両端部においてそれぞれ該基材と該外周面との間に介在するように一対の長尺状の薄膜材を該基材の搬送方向と平行にロールツーロール方式で搬送することを特徴とする成膜方法。
IPC (4件)：
C23C 14/56 ,  C23C 14/00 ,  C23C 14/34 ,  B32B 15/04
FI (4件)：
C23C14/56 B ,  C23C14/00 B ,  C23C14/34 V ,  B32B15/04 Z
Fターム (25件)：
4F100AB01B ,  4F100AB13 ,  4F100AB16 ,  4F100AB17 ,  4F100AB31 ,  4F100AK42 ,  4F100AK49 ,  4F100AT00A ,  4F100EH662 ,  4F100JL06 ,  4F100JM02B ,  4F100YY00B ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA08 ,  4K029BA25 ,  4K029BB02 ,  4K029CA05 ,  4K029DA10 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4K029DC16 ,  4K029DC39 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03
引用特許：
審査官引用 (3件)

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