特許
J-GLOBAL ID：201903015577490465

物体交換方法、物体交換システム、露光装置、フラットパネルディスプレイの製造方法、及びデバイス製造方法

発明者：
青木 保夫

青木 保夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-163084
公開番号（公開出願番号）：特開2019-016801
出願日： 2018年08月31日
公開日（公表日）： 2019年01月31日
要約：
【課題】基板ステージ装置上の基板の交換を迅速に行う。【解決手段】 基板ステージ装置20上に載置された基板P1を別の基板P2に交換する物体交換方法は、基板P1を保持した基板ステージ装置20を所定の物体交換位置に位置させることと、物体交換位置に設けられた懸垂支持装置50に基板P1を懸垂支持させることと、懸垂支持装置50に懸垂支持された基板P1を基板ステージ装置20から離間させることと、懸垂支持装置50に懸垂支持された基板P1と基板ステージ装置20との間に基板P2を挿入して該基板P2を基板ステージ装置20に受け渡すことと、懸垂支持装置50に対して基板P1を移動させることにより基板P1を物体交換位置から搬出することと、を含む。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
所定の物体交換位置に配置された物体を別の物体に交換する物体交換方法であって、 第1物体を保持した物体保持装置を前記物体交換位置に位置させることと、 前記物体交換位置に設けられた支持装置に前記第1物体を懸垂支持させることと、 前記支持装置に懸垂支持された前記第1物体を前記物体保持装置から離間させることと、 前記支持装置に懸垂支持された前記第1物体と前記物体保持装置との間に第2物体を挿入して前記第2物体を前記物体保持装置に受け渡すことと、 前記第2物体を前記物体保持装置に受け渡した後に前記支持装置に対して前記第1物体を移動させることにより前記第1物体を前記物体交換位置から搬出することと、を含む物体交換方法。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  G03F 7/20 ,  G02F 1/13
FI (4件)：
H01L21/68 A ,  G03F7/20 521 ,  G03F7/20 501 ,  G02F1/13 101
Fターム (60件)：
2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H197AA09 ,  2H197BA02 ,  2H197BA09 ,  2H197CA05 ,  2H197CA06 ,  2H197CA07 ,  2H197CA08 ,  2H197CB16 ,  2H197CC11 ,  2H197CC16 ,  2H197CD02 ,  2H197CD06 ,  2H197CD12 ,  2H197CD13 ,  2H197CD15 ,  2H197CD17 ,  2H197CD23 ,  2H197CD29 ,  2H197CD33 ,  2H197CD35 ,  2H197CD41 ,  2H197CD45 ,  2H197CD48 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131AA33 ,  5F131BA13 ,  5F131CA32 ,  5F131DA02 ,  5F131DA33 ,  5F131DA36 ,  5F131DA42 ,  5F131DA68 ,  5F131DB02 ,  5F131DB27 ,  5F131DB62 ,  5F131DB72 ,  5F131DC12 ,  5F131DC19 ,  5F131EA02 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA27 ,  5F131EB01 ,  5F131FA13 ,  5F131FA32 ,  5F131KA14 ,  5F131KA44 ,  5F131KB05 ,  5F131KB53
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 浮上方法及び浮上ユニット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-246201   出願人：株式会社妙徳
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-364858   出願人：株式会社オーク製作所
審査官引用 (2件)
  • 浮上方法及び浮上ユニット
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-246201   出願人：株式会社妙徳
  • 基板搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-364858   出願人：株式会社オーク製作所

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