特許
J-GLOBAL ID:201903017540341152

形状検査方法、形状検査装置及びプログラム

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 亀谷 美明 ,  金本 哲男 ,  萩原 康司 ,  松本 一騎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-518003
特許番号:特許第6451839号
出願日: 2016年05月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】 レーザ光源から物体表面に対して、線状のレーザ光が照射され、当該物体表面での前記レーザ光による光切断線が撮像装置により撮像されることで、光切断法に用いられる撮像画像である光切断画像が生成される光切断画像生成ステップと、 前記光切断画像における前記光切断線の太さを表わす太さ指標値と、当該光切断線の明るさを表わす明るさ指標値と、が算出される指標値算出ステップと、 算出された前記太さ指標値及び前記明るさ指標値が、予め定められた適正領域の範囲内に含まれるように、前記レーザ光源又は前記撮像装置の少なくとも何れか一方の設定が変更される設定変更ステップと、 前記太さ指標値及び前記明るさ指標値が前記適正領域の範囲内に含まれるようになった後の前記光切断画像に対して画像処理が行われることで、前記物体表面の形状が検査される形状検査ステップと、 を含み、 前記指標値算出ステップでは、 前記物体表面に関する光切断画像の前記物体と前記レーザ光源との相対移動方向に対応する方向である列方向のそれぞれにおいて、最大輝度値を与える画素が特定され、各列での当該最大輝度値が第1の閾値以上の輝度値を有する場合に、該当する列が処理対象画素列とされ、 それぞれの前記処理対象画素列において、前記最大輝度値を与える画素の画素数と当該最大輝度値に対して第2の閾値以上の輝度値を有している画素の画素数との和が、それぞれの前記処理対象画素列での前記光切断線の太さとされ、全ての前記処理対象画素列での前記光切断線の太さの平均が算出されて、前記太さ指標値とされ、 前記太さ指標値を算出する際に利用した全ての画素での輝度値の平均を前記撮像装置から出力されうる最大出力輝度値で除した値が、前記明るさ指標値とされる、形状検査方法。
IPC (2件):
G01B 11/24 ( 200 6.01) ,  G01N 21/88 ( 200 6.01)
FI (2件):
G01B 11/24 K ,  G01N 21/88 J
引用特許:
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る