特許
J-GLOBAL ID：201903018059089268

ポジ型感光性樹脂組成物、硬化膜、半導体装置および硬化膜のレリーフパターンの製造方法

発明者：
有本 由香里

有本 由香里 について

, 
荒木 斉

荒木 斉 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-224652
公開番号（公開出願番号）：特開2019-101440
出願日： 2018年11月30日
公開日（公表日）： 2019年06月24日
要約：
【課題】低温、高温の過酷な使用条件下においても高い耐久性を有するポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】ポジ型感光性樹脂組成物は下記の構成を有する。すなわち、(A)ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール前駆体およびこれらから選ばれる2種以上の樹脂の共重合体から選択される1種類以上のアルカリ可溶性樹脂と、(B)カルボキシル基及び/又はフェノール性水酸基を有するポリシロキサンと(C)感光剤と(D)溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物であって、(A)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、(B)ポリシロキサンを1〜100重量部含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)ポリイミド、ポリベンゾオキサゾール、ポリイミド前駆体、ポリベンゾオキサゾール前駆体およびこれらから選ばれる2種以上の樹脂の共重合体から選択される1種類以上のアルカリ可溶性樹脂と、 (B)一般式(1)で表される構造を含むポリシロキサンと(C)感光剤と(D)溶剤を含有するポジ型感光性樹脂組成物であって、(A)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、(B)一般式(1)で表される構造を含むポリシロキサンを1〜100重量部含有すること特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/20 ,  C08G 59/40
FI (6件)：
G03F7/023 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 502 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/20 521 ,  C08G59/40
Fターム (33件)：
2H197AA05 ,  2H197CA03 ,  2H197CA05 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  2H197JA22 ,  2H225AC68 ,  2H225AC79 ,  2H225AE05P ,  2H225AF05P ,  2H225AM73P ,  2H225AM74P ,  2H225AM77P ,  2H225AM86P ,  2H225AM92P ,  2H225AM93P ,  2H225AM99P ,  2H225AN23P ,  2H225AN54P ,  2H225BA09P ,  2H225BA22P ,  2H225CA12 ,  2H225CB06 ,  2H225CC03 ,  2H225CC21 ,  4J036AD08 ,  4J036AF05 ,  4J036AF06 ,  4J036FB14 ,  4J036FB16 ,  4J036JA08 ,  4J036JA09 ,  4J036JA10
引用特許：
出願人引用 (3件)

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