特許
J-GLOBAL ID：200903089310351578

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

発明者：
番場 敏夫

番場 敏夫 について

, 
平野 孝

平野 孝 について


出願人/特許権者：
住友ベークライト株式会社

住友ベークライト株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-263617
公開番号（公開出願番号）：特開2003-255533
出願日： 2002年09月10日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：
【要約】【課題】 エッジリンス性に優れる特性を有するポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部及び非フッ素系界面活性剤(C)0.001〜10重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
請求項（抜粋）：
一般式(1)で示されるポリアミド樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部及び非フッ素系界面活性剤(C)0.001〜10重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】
IPC (4件)：
G03F 7/037 ,  C08G 69/42 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G03F 7/037 ,  C08G 69/42 ,  G03F 7/004 504 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (46件)：
2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB24 ,  2H025CB25 ,  2H025CB32 ,  2H025CC04 ,  2H025FA17 ,  4J001DA01 ,  4J001DB02 ,  4J001DC15 ,  4J001EB28 ,  4J001EB34 ,  4J001EB44 ,  4J001EB55 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB60 ,  4J001EC38 ,  4J001EC44 ,  4J001EC54 ,  4J001EC56 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC68 ,  4J001EC70 ,  4J001EE26E ,  4J001EE35D ,  4J001EE38A ,  4J001EE38D ,  4J001EE42D ,  4J001EE65A ,  4J001EE72D ,  4J001EE83D ,  4J001EE83E ,  4J001FA01 ,  4J001FB06 ,  4J001FC03 ,  4J001FC06 ,  4J001GA13 ,  4J001HA10 ,  4J001JA20 ,  4J001JC08
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特公平1-46862号公報(第1〜第8頁)
審査官引用 (8件)
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