検出装置、リソグラフィー装置および物品製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 大塚康弘 , 高柳司郎 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-097409
公開番号（公開出願番号）：特開2019-004143
出願日： 2018年05月21日
公開日（公表日）： 2019年01月10日
要約：

【課題】非対称な形状を有する検出対象の位置情報を高精度で検出するために有利な技術を提供する。【解決手段】検出対象の位置情報を検出する検出装置は、前記検出対象を照明光で照明する光源と、前記照明光で照明された前記検出対象からの光に基づいて前記検出対象の位置情報を検出する検出器と、前記光源を制御する制御部と、を備え、前記照明光は、複数の波長の光を含み、前記光源は、前記複数の波長の光のそれぞれの強度を調整可能であり、前記制御部は、前記検出対象を照明する光の波長と前記検出器の検出誤差との関係を示す波長特性に基づいて、前記検出器の検出誤差が低減されるように、前記複数の波長の光のそれぞれの強度を調整する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検出対象の位置情報を検出する検出装置であって、前記検出対象を照明光で照明する光源と、前記照明光で照明された前記検出対象からの光に基づいて前記検出対象の位置情報を検出する検出器と、前記光源を制御する制御部と、を備え、前記照明光は、複数の波長の光を含み、前記光源は、前記複数の波長の光のそれぞれの強度を調整可能であり、前記制御部は、前記検出対象を照明する光の波長と前記検出器の検出誤差との関係を示す波長特性に基づいて、前記検出器の検出誤差が低減されるように、前記複数の波長の光のそれぞれの強度を調整する、ことを特徴とする検出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 , B29C 59/02 , G01B 11/00

FI (4件)：

H01L21/30 502D , G03F7/20 521 , B29C59/02 Z , G01B11/00 G

Fターム (55件)：

2F065AA20 , 2F065BB28 , 2F065CC20 , 2F065DD03 , 2F065FF06 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG06 , 2F065GG07 , 2F065GG21 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL02 , 2F065LL20 , 2F065LL22 , 2F065LL25 , 2F065LL37 , 2F065LL42 , 2F065LL46 , 2F065MM24 , 2F065MM26 , 2H197AA05 , 2H197EA15 , 2H197EA17 , 2H197EA19 , 2H197EA25 , 2H197EB05 , 2H197EB17 , 2H197EB22 , 2H197EB23 , 2H197HA03 , 2H197HA05 , 2H197HA10 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AJ06 , 4F209AR07 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5F146AA31 , 5F146EA07 , 5F146EB01 , 5F146EB02 , 5F146ED01 , 5F146FA05 , 5F146FA06 , 5F146FA10 , 5F146FB13 , 5F146FC05

引用特許：

審査官引用 (4件)

アライメント装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-103815 出願人：株式会社ニコン
半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-021685 出願人：株式会社日立製作所
基板の位置合わせ方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-026085 出願人：キヤノン株式会社

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