特許

J-GLOBAL ID：201903020314083524

接合装置

発明者： 菅沼 克昭 ,  長尾 至成 ,  下山 章夫 ,  関 伸弥
出願人/特許権者： 国立大学法人大阪大学
代理人 (1件)： 前井 宏之
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2017022285
公開番号（公開出願番号）：WO2018-029983
出願日： 2017年06月16日
公開日（公表日）： 2018年02月15日
要約：

接合装置(100)は、金属材料(M)を介して基板(B)に部品(C)を接合する。接合装置(100)は、壁部(20)と、少なくとも1つの押圧部(40)と、回動軸(30)とを備える。回動軸(30)は、壁部(20)に固定される。少なくとも1つの押圧部(40)の各々は、アーム(42)と、押圧子(43)または基板支持部材(90)とを有する。アーム(42)は、回動軸(30)から延びている。アーム(42)は、回動軸(30)の回りに回動する。押圧子(43)は、部品(C)を押圧する。基板支持部材(90)は、基準面(142)に配置される。基板支持部材(90)は、基板(B)を支持する。押圧子(43)が部品(C)と点接触すること、または基板支持部材(90)が基準面(142)と点接触することによって、基板(B)に部品(C)を接合する。

請求項（抜粋）：

金属材料を介して基板に部品を接合する接合装置であって、 壁部と、 少なくとも1つの押圧部と、 前記壁部に固定される回動軸と を備え、 前記少なくとも1つの押圧部の各々は、 前記回動軸から延び、前記回動軸の回りに回動するアームと、 前記部品を押圧する押圧子、または、基準面に配置され前記基板を支持する基板支持部材と を有し、 前記押圧子が前記部品と点接触すること、前記押圧子が前記アームと点接触すること、または前記基板支持部材が前記基準面と点接触することによって、前記基板に前記部品を接合する、接合装置。

IPC (2件)：

H01L 21/52 ,  H05K 3/32

FI (2件)：

H01L21/52 F ,  H05K3/32 C

Fターム (10件)：

5E319AA01 ,  5E319BB20 ,  5E319CC11 ,  5E319GG20 ,  5F047AA11 ,  5F047BA14 ,  5F047BA15 ,  5F047BB11 ,  5F047BB16 ,  5F047FA51