特許
J-GLOBAL ID：201903020619903114
振動装置及び振動装置の制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人スズエ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-000252
公開番号（公開出願番号）：特開2019-120576
出願日： 2018年01月04日
公開日（公表日）： 2019年07月22日
要約：
【課題】 異物の発生を抑制することが可能な振動装置及び振動装置の制御方法を提供する。【解決手段】 実施形態に係る振動装置の制御方法は、第1の方向に振動可能な可動体10と、第1の方向に自由振動している可動体を静電引力によって捕捉し、捕捉された可動体を解放して可動体を第1の方向に自由振動させることが可能な捕捉及び解放機構20と、を備えた振動装置の制御方法であって、第1の方向に自由振動している可動体を静電引力によって捕捉するための印加電圧の立ち上がり開始時点から立ち上がり終了時点までの時間をtcとし、可動体の第1の方向の自由振動の周期をtdとして、時間tcは時間tdよりも長い。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の方向に振動可能な可動体と、
前記第1の方向に自由振動している前記可動体を静電引力によって捕捉し、捕捉された前記可動体を解放して前記可動体を前記第1の方向に自由振動させることが可能な捕捉及び解放機構と、
を備えた振動装置の制御方法であって、
前記第1の方向に自由振動している前記可動体を静電引力によって捕捉するための印加電圧の立ち上がり開始時点から立ち上がり終了時点までの時間をtcとし、前記可動体の前記第1の方向の自由振動の周期をtdとして、前記時間tcは前記時間tdよりも長い
振動装置の制御方法。
IPC (5件)：
G01C 19/572
, B81B 3/00
, H02N 1/00
, H01L 29/84
, H03B 5/30
G01C19/5726
, B81B3/00
, H02N1/00
, H01L29/84 Z
, H03B5/30 Z
2F105BB04
, 2F105BB12
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
, 3C081AA01
, 3C081AA15
, 3C081BA07
, 3C081BA22
, 3C081BA33
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081EA02
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA26
, 4M112CA31
, 4M112FA20
, 4M112GA03
, 5J079AA01
, 5J079BA24
, 5J079EA01
, 5J079EA18
, 5J079EA20
, 5J079FA05
, 5J079FA15
, 5J079FA21
, 5J079FB09
, 5J079FB48
, 5J079HA04
, 5J079JA01
, 5J079JA06
, 5J079KA07
, 5J079KA09
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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