特許
J-GLOBAL ID：201903020827700715
圧電振動片、圧電振動子、及び製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
川井 隆
, 仲野 均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-004659
公開番号（公開出願番号）：特開2019-125897
出願日： 2018年01月16日
公開日（公表日）： 2019年07月25日
要約：
【課題】音叉型の圧電振動片において、両振動腕部のバランス精度をより高く、振動漏れをより少なくする。【解決手段】音叉型の圧電振動片の振動腕部7の先端部に、周波数調整用の重り膜75を形成し、所定領域全体(全厚さ分)を溶融除去するのではなく、その長手方向に沿って段差が生じるように、重り膜75の表面側から厚さ方向の一部を薄く除去することにより、段差を設ける。重り膜75の除去は、パルス幅がピコ〜フェムト秒のフェムト秒レーザLfを、直接重り膜75に照射し、非熱的加工を行うことでデブリの発生をなくすことができ、振動腕部7毎のバランスだけで無く、両振動腕部7a、7b間のバランスもとれた周波数調整を行うことができ、振動漏れを押さえることができる。また、デブリが存在しないため、振動によってデブリが取れて周波数が変化してしまうことが防止される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
少なくとも基部と前記基部から並んで延設された1対の振動腕部を有する音叉型の圧電振動片の外形を形成する外形形成工程と、
前記振動腕部に2系統の電極を形成する電極形成工程と、
前記振動腕部の先端側の主面に周波数調整用の重り膜を形成する重り膜形成工程と、
前記重り膜を除去することで周波数を調整する周波数調整工程と、を備え、
前記周波数調整工程は、前記重り膜の一部を非熱加工により除去する、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。
IPC (3件)：
H03H 3/04
, H03H 9/19
, H03H 9/215
H03H3/04 B
, H03H9/19 K
, H03H9/215
5J108AA02
, 5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108DD05
, 5J108EE03
, 5J108EE06
, 5J108EE18
, 5J108GG03
, 5J108GG09
, 5J108GG15
, 5J108GG16
, 5J108KK06
, 5J108MM11
, 5J108NA03
, 5J108NB05
