上沼睦典

Uenuma Mutsunori

所属機関・部署：
職名：主任研究員
その他の所属（所属・部署名・職名） (1件)：

奈良先端科学技術大学院大学先端科学技術研究科物質創成科学領域客員准教授

研究分野 (3件)：薄膜、表面界面物性 , 電子デバイス、電子機器 , 電気電子材料工学

研究キーワード (3件)： MOS界面 , 電子デバイス , 熱電変換

競争的資金等の研究課題 (7件)：

2022 - 2025 高性能三次元素子を目指したALD法による金属酸化物半導体の薄膜形成技術の研究
2022 - 2025 高性能三次元素子を目指したALD法による金属酸化物半導体の薄膜形成技術の研究
2020 - 2023 低熱伝導率を狙いとした構造異方性3次元フォノニック結晶の設計と高性能化
2019 - 2022 アモルファス酸化物半導体における熱輸送に着目した高性能フレキシブル熱電素子の研究
2018 - 2021 アモルファスまたは微結晶酸化物半導体の熱電応用に関する研究

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論文 (94件)：

Kaito Hikake, Zhuo Li, Junxiang Hao, Chitra Pandy, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Takanori Takahashi, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka, Masaharu Kobayashi. A Nanosheet Oxide Semiconductor FET Using ALD InGaOx Channel for 3-D Integrated Devices. IEEE Transactions on Electron Devices. 2024. 1-7
Dianne C. Corsino, Juan Paolo S. Bermundo, Muhammad Arif Razali, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka. Continuous-Wave Green Laser Activation of Transparent InZnO Electrodes for Fully Solution-Processed Oxide Thin-Film Transistors. ACS Applied Electronic Materials. 2023. 5. 11. 5986-5994
Aimi Syairah Safaruddin, Juan Paolo S. Bermundo, Chuanjun Wu, Mutsunori Uenuma, Atsuko Yamamoto, Mutsumi Kimura, Yukiharu Uraoka. High-k Solution-Processed Barium Titanate/Polysiloxane Nanocomposite for Low-Temperature Ferroelectric Thin-Film Transistors. ACS OMEGA. 2023. 8. 33. 29939-29948
Kanta Matsunaga, Takuto Harada, Shintaro Harada, Akinori Sato, Shota Terai, Mutsunori Uenuma, Tomoyuki Miyao, Yukiharu Uraoka. Interface State Density Prediction between an Insulator and a Semiconductor by Gaussian Process Regression Models for a Modified Process. ACS Omega. 2023. 8. 30. 27458-27466
Kaito Hikake, Zhuo Li, Junxiang Hao, Chitra Pandy, Takuya Saraya, Toshiro Hiramoto, Takanori Takahashi, Mutsunori Uenuma, Yukiharu Uraoka, Masaharu Kobayashi. A Nanosheet Oxide Semiconductor FET Using ALD InGaOx Channel and InSnOx Electrode with Normally-off Operation, High Mobility and Reliability for 3D Integrated Devices. 2023 IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits). 2023

MISC (37件)：

夏井葉月, 上沼睦典, 上沼睦典, 富田広人, 橋本由介, 松下智裕, 藤井茉美, 浦岡行治. 光電子ホログラフィによるPMA処理後のAl₂O₃/GaN界面評価. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 84th
富田広人, 上沼睦典, 桑原田進吾, 橋本由介, 藤井茉美, 田中晶貴, SUN Z., 松下智裕. 表面酸化膜/窒化ガリウム界面の原子構造解析. 日本物理学会講演概要集(CD-ROM). 2023. 78. 1
吉井大陸, 藤井茉美, 上沼睦典, 浦岡行治. 水素プラズマエッチングのダイヤモンド結晶配向依存性評価. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2022. 83rd
富田広人, 上沼睦典, 橋本由介, 藤井茉美, 桑原田進吾, 田中晶貴, SUN Z., 松下智裕. 光電子ホログラフィー法による窒化ガリウムの局所構造解析. 日本物理学会講演概要集(CD-ROM). 2022. 77. 1
QUINO Candell Grace Paredes, BERMUNDO Juan Paolo, UENUMA Mutsunori, URAOKA Yukiharu. 溶液燃焼合成により作製したシリコン-スズ-酸化物薄膜におけるエージング時間と燃料含有量の効果【JST・京大機械翻訳】. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2022. 69th

特許 (4件)：

学歴 (1件)：

2004 - 2009 九州大学大学院工学府材料物性工学専攻

学位 (1件)：

博士(工学)

経歴 (6件)：

2023/04 - 現在産業技術総合研究所
2020/06 - 2023/03 奈良先端科学技術大学院大学准教授
2014 - 2020/05 奈良先端科学技術大学院大学助教
2014 - 2014 奈良先端科学技術大学院大学特任助教
2013 - 2013 大阪大学大学院特任助教

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受賞 (12件)：

2022/08 - 第19回日本熱電学会学術講演会優秀ポスター賞 Fe2VWAl/Si界面のショットキー障壁が熱電特性に与える影響
2018/11 - 薄膜材料デバイス研究会第15回研究集会 Student paper award アモルファスInGaZnOを用いた透明フレキシブル薄膜熱電変換素子
2018/11 - International Workshop on Nitride Semiconductors 2018 Student award Analyses of Electronic and Atomic Structures of Insulator/GaN Interface by Photoelectron Diffraction and Spectroscopy
2018/09 - 第15回日本熱電学会学術講演会優秀講演賞透明半導体を用いた薄膜熱電変換素子
2018/03 - 第65回応用物理学会春季学術講演会ポスター賞アモルファス酸化物薄膜のトランスバース型フレキシブル熱電変換素子

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