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J-GLOBAL ID：202002216780261649   整理番号：20A0496054

MEMS同調可能なVCSELとビームデフレクタのモノリシック集積【JST・京大機械翻訳】

Monolithic Integration of MEMS Tunable VCSEL and Beam Deflector

著者 (5件)： Ota Hiroki (FIRST, Tokyo Institute of Technology,Midori-ku,Yokohama,Japan,226-8503) ,  Asahi Toshihiro (FIRST, Tokyo Institute of Technology,Midori-ku,Yokohama,Japan,226-8503) ,  Gu Xiodong (FIRST, Tokyo Institute of Technology,Midori-ku,Yokohama,Japan,226-8503) ,  Sakaguchi Takahiro (FIRST, Tokyo Institute of Technology,Midori-ku,Yokohama,Japan,226-8503) ,  Koyama Fumio (FIRST, Tokyo Institute of Technology,Midori-ku,Yokohama,Japan,226-8503)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： MOC  ページ： 90-91  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高分解能と高出力動作を提供する,MEMS同調形VCSELによる横方向集積ビーム偏向器を提案した。モデリングは37°以上の大きなビーム偏向角を示した。誘電体DBR層から成るMEMSアクチュエータを用いて集積素子を作製した。3.4nmの波長変化で6.4°の偏向角を得た。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *邪魔板 ,  *MEMS ,  *垂直共振器形面発光レーザ ,  高分解能 ,  波長 ,  アクチュエータ ,  *同調 ,  偏向 ,  誘電体
準シソーラス用語： ビーム偏向 ,  高出力 ,  *モノリシック集積化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  同調 ,  VCSEL ,  モノリシック集積