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J-GLOBAL ID：202002218837081297   整理番号：20A2181565

陽子線照射によるナノカーボン添加エポキシ系コンポジットのパターニング

Patterning of nanocarbon-added epoxy-based composites by proton beam irradiation

著者 (3件)： 野原悠暉 (芝浦工大) ,  林秀臣 (エコデザイン推進機構) ,  西川宏之 (芝浦工大)
資料名： 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集(CD-ROM)  (電気学会基礎・材料・共通部門大会(CD-ROM))
巻： 2020  ページ： ROMBUNNO.3-P-A-1  発行年： 2020年08月18日 
JST資料番号： L3783B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・陽子線描画とナノコンポジット技術を用いて,高性能で小型で安価なセンサーのために微細化技術により,高機能かつ安価な材料を開発。
・感光性エポキシ樹脂への導電性付与と陽子線描画によるパターニング特性を明示し,スピンコート法による試料に陽子線照射で形成したパターンの観察結果を図示。
・感光性樹脂に導電性カーボンラックを数wt%添加し,これらをガラス基板上にスキージ法およびスピンコート法で成膜。
・この成膜を熱処理し,その試料にビームエネルギー1.0MeVの陽子線をレーザビームサイズ1.0mmにて照射し,現像後にレーザ顕微鏡で表面観察。

シソーラス用語： *陽子照射 ,  ナノ構造 ,  エポキシ樹脂 ,  *複合材料 ,  *パターン形成 ,  複合膜 ,  *リソグラフィー ,  センサ
準シソーラス用語： コンポジット ,  ナノカーボン ,  *陽子線照射 ,  コンポジット膜

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (3件)：

• 廣井 聡幸:「サステイナブル社会の実現へ向けた IoT 技術」,応用物理, Vol.89,No4, pp.228-232(2020)
• 西川 宏之:「集束プロトンビーム描画による微細加工と応用」,電気学会論文誌 A,Vol.128,No7 pp.461-466(2008)
• R Sano, S. Hayakawa, H. Hayashi, Y. Ishii, H. Nishikawa: “Micro-structuring of epoxy resists containing nanoparticles by proton beam writing”, Nucl. Instrum. Meth. Phys. B, Vol.404,No1, pp.461-466(2017)

タイトルに関連する用語 (4件)： 陽子線照射 ,  ナノカーボン ,  コンポジット ,  パターニング