Steinbach T. について
Institut fuer Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Stuttgart 70569, Germany について
Csato C. について
mi2 Factory GmbH, Jena 07745, Germany について
Krippendorf F. について
mi2 Factory GmbH, Jena 07745, Germany について
Letzkus F. について
Institut fuer Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Stuttgart 70569, Germany について
Rueb M. について
mi2 Factory GmbH, Jena 07745, Germany について
Rueb M. について
Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Jena 07745, Germany について
Burghartz J.N. について
Institut fuer Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS), Stuttgart 70569, Germany について
Microelectronic Engineering について
炭化ケイ素 について
ドーピング について
イオン注入 について
フィルタ について
出力装置 について
微細構造 について
シミュレーションモデル について
ケイ素 について
深さプロフィル について
キャラクタリゼーション について
費用対効果 について
シリコン膜 について
シリコンウエハ について
エネルギーフィルタ について
大面積 について
半導体集積回路 について
イオン注入 について
大面積 について
シリコン について
エネルギーフィルタ について