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J-GLOBAL ID：202002231430545755   整理番号：20A0117317

SOIウェハの直接接合を用いた3層構造リングオシレータとイメージセンサの試作

Triple-Layered Ring Oscillators and Image Sensors Developed by Direct Bonding of SOI Wafers

著者 (11件)： 後藤正英 (NHK 放送技研) ,  本田悠葵 (NHKエンジニアリングシステム) ,  渡部俊久 (NHK 放送技研) ,  萩原啓 (NHK 放送技研) ,  難波正和 (NHK 放送技研) ,  井口義則 (NHK 放送技研) ,  更屋拓哉 (東大) ,  小林正治 (東大) ,  日暮栄治 (産業技術総合研) ,  年吉洋 (東大) ,  平本俊郎 (東大)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119  号： 284(ICD2019 28-43)  ページ： 45-49  発行年： 2019年11月06日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超高精細と高フレームレートとを両立する次世代のイメージセンサを目指して,画素並列信号処理を行う3次元構造イメージセンサの研究を進めている.これまでに,SOIウェハの直接接合技術により,画素内で入射光量に対応したパルスを発生してA/D変換を行う2層構造イメージセンサの開発を行い,その撮像動作を実証した.今回,本センサのさらなる高集積化や多機能化を可能とする多層構造の実現に向けて,3層のSOIウェハから構成されるリングオシレータおよびイメージセンサを設計し,直径5μmのAu電極を埋め込んだ直接接合技術により試作を行った.その結果,3層のウェハが剥離なく接合していることを確認するとともに,101段リングオシレータの動作を実証することができ,将来の多層構造デバイスの実現に見通しを得た.(著者抄録)

シソーラス用語： *リング発振器 ,  *イメージセンサ ,  半導体プロセス ,  *半導体接合 ,  多層 ,  画素 ,  精密化 ,  伝送速度 ,  画像信号 ,  信号フレーム ,  信号処理 ,  三次元 ,  AD変換
準シソーラス用語： フレームレート

分類 (2件)： 発振回路  (NC05020Y) ,  計測機器一般  (AD02000X)

引用文献 (13件)：

• 後藤正英・安江俊夫, ′′′′究極のカメラ′′を考える~次世代の放送・サービスを支える撮像技術~,′′ NHK技研R&D, No.176, pp.55-60 (2019).
• E. R. Fossum, ′′CMOS image sensor: Electronic camera-on-a-chip,′′ IEEE Transactions on Electron Devices, Vol.44, No.10, pp.1689-1698 (1997).
• J. Park, S. Aoyama, T. Watanabe, K. Isobe, and S. Kawahito, ′′A High-Speed Low-Noise CMOS Image Sensor With 13-b Column-Parallel Single-Ended Cyclic ADCs,′′ IEEE Trans. Electron Devices, Vol.56, No.11, pp.2414-2422 (2009).
• F. Andoh, H. Shimamoto, and Y. Fujita, ′′A digital pixel image sensor for realtime readout,′′ IEEE Transactions on Electron Devices, Vol.47, No.11, pp.2123-2127 (2000).
• S. Kleinfelder, S. Lim, X. Liu, and A. El Gamal, ′′A 10000 Frames/s CMOS Digital Pixel Sensor,′′ IEEE Journal of Solid-State Circuits, Vol.36, No.12, pp.2049-2059 (2001).

タイトルに関連する用語 (6件)： SOIウェハ ,  直接接合 ,  3層構造 ,  リングオシレータ ,  イメージセンサ ,  試作