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J-GLOBAL ID:202002242471301189   整理番号:20A0446839

電子線レジストの感度曲線を用いたレジスト解像度パタンのモンテカルロシミュレーション

著者 (5件):
資料名:
巻: 20th  ページ: ROMBUNNO.3B1-06  発行年: 2019年12月12日 
JST資料番号: F1751A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 

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