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J-GLOBAL ID：202002242471301189   整理番号：20A0446839

電子線レジストの感度曲線を用いたレジスト解像度パタンのモンテカルロシミュレーション

著者 (5件)： 宮崎翔 (香川高専) ,  山本雅史 (香川高専) ,  河田純 (香川高専) ,  堀邊英夫 (大阪市大) ,  長岡史郎 (香川高専)
資料名： 計測自動制御学会システムインテグレーション部門講演会(CD-ROM)  (SICE SI (CD-ROM))
巻： 20th  ページ： ROMBUNNO.3B1-06  発行年： 2019年12月12日 
JST資料番号： F1751A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電子線レジスト ,  感度 ,  モンテカルロ法 ,  計算機シミュレーション ,  *電子ビームリソグラフィー ,  *回路パターン形成 ,  微細加工 ,  波動関数 ,  分解能 ,  形態 ,  高感度 ,  電子軌道 ,  計算機利用 ,  利用
準シソーラス用語： 感度曲線 ,  断面形状

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 電子線レジスト ,  感度 ,  曲線 ,  レジスト ,  解像度 ,  パタン ,  モンテカルロシミュレーション