文献

J-GLOBAL ID：202002247976363911   整理番号：20A2742019

超高速・低温フレームを特徴とする衝撃焼結被覆技術を用いた,昇華性材料,窒化アルミニウム(AlN)溶射皮膜の気孔率評価方法の開発

Development of a Method for Measuring Porosity for Aluminum Nitride Coatings by Low Temperature High Velocity Oxygen Fuel Spraying

著者 (6件)： 高橋勇一 (群馬県群馬産技セ) ,  石田一成 (群馬県群馬産技セ) ,  河合貴士 (群馬県) ,  山本亮一 (横浜国大) ,  小林正和 (豊橋技科大) ,  戸田裕之 (九大)
資料名： SPring-8/SACLA利用研究成果集(Web)  (SPring-8/SACLA Research Report (Web))
巻： 5  号： 1  ページ： 88-91 (WEB ONLY)  発行年： 2017年01月31日 
JST資料番号： U1844A  ISSN： 2187-6886  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・原料粒子を超高速に加速し基材に衝突させ,その衝撃により焼結させ成膜する技術による最適皮膜特性を確立。
・耐プラズマ性および熱伝導性・放熱性を向上させ,窒化アルミニウム皮膜の緻密性を向上させることが課題。
・この膜の緻密性の評価方法として,大型放射光施設であるSPring-8の結像型X線CTによる断面画像から空隙の割合を追究。
・この値をもとにSEM画像の二値化の閾値をチューニングするという気孔率の評価方法を開発。

シソーラス用語： *圧密 ,  冷炎 ,  窒化アルミニウム ,  溶射層 ,  空隙率 ,  半導体 ,  生産工程 ,  画像処理 ,  焼結 ,  粒子 ,  熱特性 ,  X線CT ,  放射光施設 ,  画像 ,  閾値 ,  同調 ,  昇華
準シソーラス用語： 気孔率 ,  *衝撃焼結 ,  低温フレーム ,  溶射皮膜 ,  熱伝導性 ,  SPring-8 ,  SEM画像

分類 (2件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X) ,  半導体の放射線による構造と物性の変化  (BK16123E)

引用文献 (2件)：

• 日野高志、東芝レビュー, 71(2), 48 (2016).
• A. C. Kak & M. Slaney:Principles of Computerized Tomographic Imaging, IEEE Press, New York (1988) (http://www.slaney.org/pct/)

タイトルに関連する用語 (10件)： 低温フレーム ,  衝撃焼結 ,  被覆技術 ,  昇華 ,  窒化アルミニウム ,  AlN ,  溶射皮膜 ,  気孔率 ,  評価方法 ,  開発